Arrêtons de gaspiller de l’énergie inutilement : une meilleure façon de cuire les wafer
Soyez honnêtes : les usines de semi-conducteurs consomment énormément d’énergie. Si l’on regarde où va toute cette énergie, une grande partie est simplement gaspillée sous forme de chaleur.
Pendant des années, on a utilisé des fours à convection pour chauffer les wafer. Mais le problème, c’est que cela exige beaucoup d’énergie pour chauffer toute la chambre – l’air, les murs, tout – juste pour atteindre la température appropriée. C’est inefficace.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes à rayonnement infrarouge. Au lieu de chauffer toute la pièce, ces lampes envoient de l’énergie directement dans le substrat. C’est beaucoup plus efficace.
Pourquoi la physique joue un rôle important
Nous utilisons des ondes infrarouges de courte et moyenne longueur d’onde, car elles permettent de pénétrer rapidement les couches de photorésine et d’adhésif. Cela prend des minutes, au lieu d’heures, pour atteindre la température souhaitée. Cela représente une économie significative en termes d’énergie par wafer. Nos lampes sont conçues avec une forte densité de puissance, ce qui permet d’atteindre rapidement la température de cuisson.
Intégration dans votre usine
Le meilleur aspect, c’est que cela permet de réduire considérablement votre empreinte carbone. Vous n’avez plus à lutter contre les pertes de chaleur causées par le chauffage d’une grande boîte métallique. Ces systèmes sont conçus pour être simples à installer. La plupart du temps, ils remplacent simplement les anciens éléments de chauffage, sans nécessiter de modifications majeures.
Un conseil important : veillez bien sur votre alimentation électrique. Les lampes à rayonnement infrarouge consomment beaucoup d’énergie. Si vos panneaux électriques ne peuvent pas supporter cette charge initiale, vous risquez de voir les disjoncteurs sauter constamment.
La réalité
Les lampes à rayonnement infrarouge ne sont pas une solution miracle. Elles ont leurs limites. Comme la chaleur est très intense, il peut y avoir des points chauds si les lampes ne sont pas parfaitement alignées avec les wafer. Il faut donc être précis quant à l’angle et à la distance. Pour éviter que les choses ne tournent mal, nous recommandons d’utiliser un système de contrôle par pyromètre à boucle fermée. Cela permet d’éviter un recuit excessif des wafer. De plus, ne laissez pas ces lampes fonctionner à 100 % de leur capacité sans surveillance. Sans un bon système de refroidissement, les filaments se brûleront très rapidement. Il s’agit de trouver l’équilibre entre la vitesse à laquelle vous souhaitez cuire les wafer et ce que votre équipement peut vraiment gérer.