http://ir-glass-heat.com/fa/tags/module/ Recent content in Module on Infrared Glass Heating Technology Hugo fa Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ماژول خشککن فتورزیست مادون قرمز"></p> <p>در کف سنگی، تغییرات نیم درجه‌ای در دمای فرایند خشک‌کردن فوتورزیست، نوعی «تحمل» محسوب نمی‌شود؛ بلکه به معنای از کار افتادن واحد مورد استفاده است. خشک‌کردن فوتورزیست به شدت تحت تأثیر شرایط حرارتی قرار دارد؛ ماژول‌های مربوط به مادون قرمز نقش کلیدی در تعیین بازدهی فرآیند دارند.</p> <p><strong>آنچه واقعاً اهمیت دارد:</strong> ما از ماژول‌های خشک‌کننده فوتورزیست مبتنی بر مادون قرمز استفاده می‌کنیم؛ این ماژول‌ها باعث می‌شوند که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ شود. همچنین، این ماژول‌ها باعث می‌شوند که پروفایل‌های فرآیند خشک‌کردن در هر بار تکرار قابل پیش‌بینی باشد. انتخاب نوع ساطع‌کننده نیز با دقت انجام شده است؛ ساطع‌کننده‌های مادون قرمز، پاسخ سریع و دقیقی ارائه می‌دهند و کنترل طیفی بهتری نیز دارند. این امر باعث می‌شود که تأخیرات حرارتی و اختلافات در دما کاهش یابد. این سیستم برای اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ همچنین، این سیستم بدون تولید هیچ ذره‌ای عمل می‌کند و این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در همان محل، تأیید می‌شود. این سیستم قرار است ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظره‌ای کار کند؛ زمان خدمات‌رسانی نیز متناسب با تغییرات فرآیند تولید تنظیم می‌شود.</p>