Bake on Infrared Glass Heating Technology

لامپ پخت ملایم فوتورزیست

Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800

در کف سنگی، تغییرات جزئی در دمای حرارتی، به عنوان یک نقص بزرگ ظاهر نمی‌شود؛ بلکه این تغییرات منجر به تغییرات در عرض خطوط، وجود مواد حلال در رزیست، و همچنین تولید محصولات نامرغوب پس از چند ساعت از فرآیند می‌شود. آنچه لازم است، لامپی باشد که دمای رزیست را دقیقاً در محدوده مشخص شده نگه دارد؛ چرا که این کار باید در هر چرخه انجام شود.

از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟ ما از فرستنده‌های نور مادون قرمز استفاده می‌کنیم؛ این فرستنده‌ها دارای خروجی طیفی هستند که به گونه‌ای طراحی شده‌اند تا نور را به طور یکنواخت و سریع به رزیست برسانند؛ بنابراین اختلاف دمایی بین سطح و قسمت پایینی فیلم ایجاد نمی‌شود. یکنواختی دمایی در سطح ویفر، حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ این موضوع منجر به یکپارچگی خواص رزیست و رفتار یکنواخت در روند پوشش‌دهی می‌شود. این سیستم به طور مداوم کار می‌کند و هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود؛ بنابراین مناسب برای استفاده در اتاق‌های پاک با سطح پاکیزگی از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است. خروجی نور در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی می‌ماند؛ همچنین تغییرات شدت نور کمتر از ۵٪ است، و الگوی حرارتی نیز در هر سری تولید یکسان است.

لامپ پخت اسپین کوتینگ

Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800

در سالن لیتوگرافی، تغییر دما به اندازه نیم درجه در مرحله بیک نرم کافی است تا کل دسته ویفر خراب شود. بیک نرم و بیک سخت صرفاً چرخه‌های حرارتی نیستند — بلکه کنترل‌های ابعادی هستند. اگر لامپ نتواند دمای تنظیم‌شده را در کل ویفر حفظ کند، یکنواختی CD از بین می‌رود و بازده نیز کاهش می‌یابد. لامپ بیک اسپین کوتِر را بر پایه هالوژن کوارتز نزدیک به مادون قرمز (NIR) طراحی کردیم. این لامپ پاسخ حرارتی سریع و مستقیم و خروجی تابشی پایدار ارائه می‌دهد. سیستم هدف‌گیری یکنواختی در سطح ویفر را در ±0.1°C دارد و تکرارپذیری آن باعث می‌شود حذف حلال به صورت مداوم و در هر بار اجرا ثابت باقی بماند. مجموعه لامپ دارای رتبه‌بندی تمیزی اتاق پاک کلاس 1–100 است. مسیر نوری کاملاً مهر و موم شده و مواد با نشر گاز کم، شمار ذرات را ثابت نگه می‌دارد. خروجی بیش از 5,000 ساعت پایدار باقی می‌ماند، با انحراف شدت کمتر از 5%، بنابراین بودجه حرارتی شما با گذشت زمان تغییر نمی‌کند. دلیل مقاومت آن در محیط اسپین کوتِر این است: شیب سریع دما، توقف دقیق، و بازگشت فوری به دمای تنظیم‌شده بین ویفرها. شما چرخه‌های بیک کوتاه‌تر بدون افزایش بیش از حد دما، مصرف انرژی کمتر در هر دسته، و تعداد کمتر ماسک‌های بازکاری ناشی از تشکیل پا و رسوب خواهید داشت. نتیجه کنترل CD قابل پیش‌بینی و کاهش نوسانات مرتبط با تغییرات بیک است. NIR سرعت و یکنواختی را فراهم می‌کند، اما لامپ به برق تمیز و تنظیم دقیق نوری نیاز دارد. نوسان ولتاژ یا تنظیم نادرست لامپ به صورت نقاط داغ ظاهر می‌شود. پیش از نصب، سوکت لامپ اسپین کوتِر و رابط حرارتی را بررسی کنید. برنامه‌ریزی برای کالیبراسیون دوره‌ای شدت و بازرسی پنجره را در نظر بگیرید. این کار باعث حفظ یکنواختی ±0.1°C در ماه‌های متوالی می‌شود.

لامپ مادون قرمز پخت پلیایمید

Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800

در خط تولید، ساعت به هیچ‌کس منتظر نمی‌ماند. یک ویفر 300 mm از مرحله کوتینگ به سافت بیک می‌رود، سپس وارد اکسپوژر می‌شود و بودجه حرارتی که در همان دقایق اول تنظیم می‌کنید، قوانین یکنواختی CD، زاویه دیواره جانبی و در نهایت بازده را تعیین می‌کند. وقتی لامپ بیک شروع به انحراف می‌کند، نقاط داغ را روی میدان پراکنده می‌کند یا کاملاً از کار می‌افتد، خط متوقف می‌شود، صف انتظار طولانی می‌شود و هزینه هر ویفر قبل از اینکه حتی اولین الگو نوشته شود، افزایش می‌یابد.
بیک پلی‌ایمید به حرارت تکرارپذیر بستگی دارد. باید رزین را وارد پنجره Tg مناسب کرد بدون انفجار حلال، بدون ایجاد پوست روی سطح و بدون افزودن ذرات. مادون قرمز می‌تواند این کنترل را ارائه دهد—سریع و پایدار—اما فقط اگر امیتر، اپتیک و حلقه کنترل به عنوان یک سیستم حرارتی واحد در نظر گرفته شوند، نه یک جعبه با یک هیتر نصب شده روی آن.