در کف سنگی، تغییرات جزئی در دمای حرارتی، به عنوان یک نقص بزرگ ظاهر نمی‌شود؛ بلکه این تغییرات منجر به تغییرات در عرض خطوط، وجود مواد حلال در رزیست، و...

در سالن لیتوگرافی، تغییر دما به اندازه نیم درجه در مرحله بیک نرم کافی است تا کل دسته ویفر خراب شود. بیک نرم و بیک سخت صرفاً چرخه‌های حرارتی نیستند —...

در خط تولید، ساعت به هیچ‌کس منتظر نمی‌ماند. یک ویفر 300 mm از مرحله کوتینگ به سافت بیک می‌رود، سپس وارد اکسپوژر می‌شود و بودجه حرارتی که در همان...