http://ir-glass-heat.com/fa/tags/%DB%8C%D8%A7%D9%82%D9%88%D8%AA-%DA%A9%D8%A8%D9%88%D8%AF/ Recent content in یاقوت کبود on Infrared Glass Heating Technology Hugo fa Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="هیتر پردازش ویفر یاقوت"></p> <h1 id="در-کف-کارخانه">در کف کارخانه</h1> <p>آن ویفر یاقوت ۲ اینچی زیر مسیر لیتوگرافی نشسته و منتظر یک Soft Bake است. شما به دمای ۱۱۰°C در سراسر سطح نیاز دارید، نه فقط آنچه که ترموکوپل می‌خواند. هر چیزی کمتر از این باعث انحراف پروفایل فوتورزیست می‌شود. اگر دما را بالاتر ببرید، وارد بودجه حرارتی خود می‌شوید.</p> <h2 id="آنچه-واقعا-از-نظر-فنی-اهمیت-دارد">آنچه واقعاً از نظر فنی اهمیت دارد</h2> <p>بخاری‌هایی که برای پردازش ویفر یاقوت استفاده می‌کنیم، تابش‌دهنده‌های کوارتز مادون قرمز با موج کوتاه (SWIR) هستند. این بخاری‌ها به سرعت و به‌طور مستقیم گرما را منتقل می‌کنند و دارای اینرسی حرارتی بسیار کمی هستند. یکنواختی در سطح ویفر در ±۰.۱°C در سراسر چاک حفظ می‌شود و تکرارپذیری از شیفتی به شیفت دیگر در ±۰.۲°C باقی می‌ماند. این پلتفرم با اتاق‌های تمیز کلاس ۱–۱۰۰ سازگار است و قطعات به‌گونه‌ای انتخاب شده‌اند که تولید ذرات در حین کار در حالت پایدار به صفر برسد. شما قابلیت اطمینان ۲۴/۷ بدون زمان توقف غیرمنتظره دارید و پروفایل‌های پخت فوتورزیست به اندازه کافی تکرارپذیر هستند تا کنترل عرض خط را ثابت نگه دارند.</p>