http://ir-glass-heat.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Infrared Glass Heating Technology Hugo fa Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="لامپ پخت ملایم فوتورزیست"></p> <p>در کف سنگی، تغییرات جزئی در دمای حرارتی، به عنوان یک نقص بزرگ ظاهر نمی‌شود؛ بلکه این تغییرات منجر به تغییرات در عرض خطوط، وجود مواد حلال در رزیست، و همچنین تولید محصولات نامرغوب پس از چند ساعت از فرآیند می‌شود. آنچه لازم است، لامپی باشد که دمای رزیست را دقیقاً در محدوده مشخص شده نگه دارد؛ چرا که این کار باید در هر چرخه انجام شود.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟</strong> ما از فرستنده‌های نور مادون قرمز استفاده می‌کنیم؛ این فرستنده‌ها دارای خروجی طیفی هستند که به گونه‌ای طراحی شده‌اند تا نور را به طور یکنواخت و سریع به رزیست برسانند؛ بنابراین اختلاف دمایی بین سطح و قسمت پایینی فیلم ایجاد نمی‌شود. یکنواختی دمایی در سطح ویفر، حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ این موضوع منجر به یکپارچگی خواص رزیست و رفتار یکنواخت در روند پوشش‌دهی می‌شود. این سیستم به طور مداوم کار می‌کند و هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود؛ بنابراین مناسب برای استفاده در اتاق‌های پاک با سطح پاکیزگی از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ است. خروجی نور در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، پایدار باقی می‌ماند؛ همچنین تغییرات شدت نور کمتر از ۵٪ است، و الگوی حرارتی نیز در هر سری تولید یکسان است.</p> http://ir-glass-heat.com/fa/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/fa/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ماژول خشککن فتورزیست مادون قرمز"></p> <p>در کف سنگی، تغییرات نیم درجه‌ای در دمای فرایند خشک‌کردن فوتورزیست، نوعی «تحمل» محسوب نمی‌شود؛ بلکه به معنای از کار افتادن واحد مورد استفاده است. خشک‌کردن فوتورزیست به شدت تحت تأثیر شرایط حرارتی قرار دارد؛ ماژول‌های مربوط به مادون قرمز نقش کلیدی در تعیین بازدهی فرآیند دارند.</p> <p><strong>آنچه واقعاً اهمیت دارد:</strong> ما از ماژول‌های خشک‌کننده فوتورزیست مبتنی بر مادون قرمز استفاده می‌کنیم؛ این ماژول‌ها باعث می‌شوند که یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ شود. همچنین، این ماژول‌ها باعث می‌شوند که پروفایل‌های فرآیند خشک‌کردن در هر بار تکرار قابل پیش‌بینی باشد. انتخاب نوع ساطع‌کننده نیز با دقت انجام شده است؛ ساطع‌کننده‌های مادون قرمز، پاسخ سریع و دقیقی ارائه می‌دهند و کنترل طیفی بهتری نیز دارند. این امر باعث می‌شود که تأخیرات حرارتی و اختلافات در دما کاهش یابد. این سیستم برای اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ همچنین، این سیستم بدون تولید هیچ ذره‌ای عمل می‌کند و این موضوع از طریق نظارت بر ذرات در همان محل، تأیید می‌شود. این سیستم قرار است ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظره‌ای کار کند؛ زمان خدمات‌رسانی نیز متناسب با تغییرات فرآیند تولید تنظیم می‌شود.</p>