Lámpara de horneado suave para fotoresist
En el suelo de litografía, las pequeñas fluctuaciones en la temperatura de secado no se manifiestan como fallos graves. En cambio, se manifiestan...
Lámpara de horneado para recubridor por centrifugado
En la sala de litografía, una deriva de medio grado en la temperatura de horneado es suficiente para desechar un lote completo de obleas. El horneado...
Lámpara infrarroja de horneado de poliamida
En la línea, el reloj no espera a nadie. Una oblea de 300 mm pasa de la etapa de recubrimiento al horneado suave, luego a la exposición, y el...