http://ir-glass-heat.com/de/tags/wafel/ Recent content in Wafel on Infrared Glass Heating Technology Hugo de Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Sun, 21 Jun 2026 06:19:24 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Sicherheitsabstand bei der Waferheizung"></p> <p>Im Fertigungsraum ist die Erhitzung der Fotolackschicht eine Prozessschritt, bei dem genaue Einhaltung bestimmter Temperaturwerte unerlässlich ist. Eine Temperaturschwankung von 10 ms oder eine Abweichung von 1 mm zwischen Heizer und Wafer führen zu Problemen wie Verformungen des Musters oder zu Ausschusswaren. Die Sicherheitsentfernung um den Wafer herum ist keine „Komfortzone“ – sie ist vielmehr die Grenze, die dafür sorgt, dass die Qualität der Produkte sowie die Integrität der Ausrüstung erhalten bleiben.</p> <p>So haben wir das Heizmodul konstruiert: Es wird in einer definierten Sicherheitsentfernung angebracht, sodass die Heizzone von empfindlichen optischen Komponenten sowie vom Wafergetriebe <a href="https://goldisgood.com">getrennt</a> bleibt – gleichzeitig wird jedoch eine effiziente Wärmeübertragung gewährleistet. Das System hält eine Temperaturkonstanz von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Wafers aufrecht – dadurch bleiben auch die Anforderungen bezüglich der Erhitzungszeit eingehalten.</p>