Sensor on Infrared Glass Heating Technology

Präziser IR Sensor für Wafern

Mon, 27 Jul 2026 09:12:33 +0800

Hören Sie auf, Energie in den Schächten der Wafer zu verschwenden
Das Problem bei den meisten Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. Wenn man einen Halbleiterwafer erwärmt, möchte man, dass die Energie direkt auf das Substrat trifft. Man möchte auf keinen Fall, dass die Energie in die Innenwände der Maschine eindringt – schließlich kostet diese Maschine ein Vermögen.

Wenn die Ausrüstung wie ein riesiger Wärmeableiter funktioniert, wird die Situation unübersichtlich. Man verschwendet Energie, und der Rahmen der Maschine dehnt sich aufgrund der Hitze aus. Das ist ein Problem, das man wirklich vermeiden sollte.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Mon, 20 Jul 2026 11:23:19 +0800

Hören Sie auf, die Wände zu erhitzen – so lässt sich eine bessere Methode zur Herstellung von Wasserstoffsensorien finden.
Bei der Herstellung von Wasserstoffsenzoren ist die Temperatur von entscheidender Bedeutung. Doch das Problem ist folgendes: Die meisten Menschen versuchen, den gesamten Innenraum des Halbleitergeräts zu erhitzen. Das ist eine völlige Verschwendung von Energie.
Schlimmer noch: Es handelt sich dabei um ein Sicherheitsrisiko. Wenn man herkömmliche Heizmethoden verwendet, nehmen die Wände des Geräts einfach die Energie auf. Dadurch entstehen „heiße Wände“, die die Bediener verletzen können. Zudem muss man viel Geld für komplexe Kühlsysteme ausgeben, nur damit das Gerät nicht überhitzt.
Der Trick besteht darin, aufzuhören, die Luft zu erhitzen, und stattdessen das zu erhitzen, was tatsächlich benötigt wird.
Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – nur mit Wärmeenergie. Anstatt den ganzen Raum zu erwärmen, strahlt die Infrarotenergie in gerader Linie aus. Sie kümmert sich weder um die Luft noch um die Wände – sie gibt die Energie nur dort ab, wo sie benötigt wird. So wird die Wärme genau dorthin geleitet, wo sie hingehört.
Um das richtige Profil zu erreichen, braucht es etwas Feingefühl. Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen, denn sie dringen tiefer in die Oberfläche ein und reagieren viel schneller als Langwellenlampen. So kann man die gewünschten Temperaturen in Sekundenschnelle erreichen. Das ist wirklich schnell.
Wir montieren diese Lampen in einer fokussierten Anordnung. Durch Anpassung des Winkels und der Entfernung kann man die Wärme genau auf den Sensorwafer lenken. Das Ergebnis? Man kann das umliegende Gehäuse berühren – es fühlt sich kühl an.
Wenn man hohe Leistungen verwendet, entstehen jedoch „heiße Punkte“. Um das zu verhindern, besprühen wir die Wände des Behälters mit niedrigem Emissivitätsbeschichtungen. Dadurch werden die Wände zu Spiegeln, die das überschüssige Infrarotlicht wieder auf den Werkstoff reflektieren.
Aber es ist nicht alles perfekt – es gibt einige Kompromisse.
Da die Erwärmung so gezielt erfolgt, entstehen sehr starke Temperaturgradienten. Wenn die Lampe etwas abweicht oder die Leistung schwankt, entstehen „heiße Punkte“, die den Sensor zerstören können.
Um das zu vermeiden, darf man es nicht einfach „einschalten und vergessen“. Man benötigt einen geschlossenen PID-Regler sowie einen Pyrometer, der sofort reagiert. Andernfalls besteht die Gefahr, dass der Substrat beschädigt wird.
Noch ein Tipp: Überprüfen Sie Ihre Stromversorgung. Die Quarzhalogenlemente bringen sofort einen großen Stromstoß ins System, sobald sie eingeschaltet werden. Stellen Sie sicher, dass Ihre Verkabelung damit umgehen kann.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlung

Fri, 17 Jul 2026 07:17:29 +0800

Sicherheit bei der Verwendung von Infrarotheizungen in Umgebungen mit Chemikalien
Wenn Sie Infrarotlampen in Bereichen einsetzen, in denen Chemikalien verwendet werden, kennen Sie bereits die Probleme. Man muss ständig gegen brennbare Dämpfe und Flüssigkeiten kämpfen, die alles zerstören können. Herkömmliche Quarzröhren halten dabei kaum eine Woche durch.

Um Unfälle zu vermeiden, verwenden wir eine Kombination aus intelligenten Sensoren sowie wasserdichten Abdichtungen. Es handelt sich dabei im Grunde um einen Schutzschirm, der die schädlichen Gase von den heißen Elementen fernhält.

Temperatursensor für Wafer Werkzeug

Thu, 09 Jul 2026 04:08:36 +0800

Jeder Watt Energie muss bei der Waferverarbeitung effektiv genutzt werden. Die alte Methode – die Verwendung herkömmlicher Temperatursonden – führt dazu, dass viel Wärme in die Luft entweicht. Das ist Verschwendung. Deshalb haben wir etwas anderes entwickelt: eine Temperatursonde, die mit Gold überzogen ist und dazu dient, die Wärme wieder dorthin zu leiten, wo sie hingehört.

Das Prinzip ist einfach: So viele nutzbare Wärmeenergien wie möglich auf den Wafer bringen, anstatt sie verloren zu gehen.

Die Kraft hinter der Wärme
Diese Sonde überwacht nicht nur die Temperatur, sondern beeinflusst sie auch aktiv. Sie verwandelt die zugeführte elektrische Energie in gezielte Wärmeenergien. Dadurch bleibt das thermische Profil stabil – der Wafer erhält genau dann die benötigte Energiedichte, wenn er sie braucht.

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensor Wafern

Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800

Beobachten Sie, wie eine Waferplatte von der Spülstation herauskommt. Es dürfen keine Wasserflecken vorhanden sein. Der Fotolack kann keinen Temperatursprüngen standhalten. Wenn die Trocknungsanlage nicht die richtige Temperatur erreichen kann, sinkt die Qualität der Wafer – es muss erneut nachgearbeitet werden, und weitere Chargen müssen als unbrauchbar entsorgt werden.

Was steckt technisch dahinter? Wir haben den Heizer für die Trocknung der MEMS-Sensorwafer mit schnell reagierenden, für Reinräume geeigneten Heizelementen sowie einem auf Quarz basierenden Wärmemanagement-System konstruiert. Dadurch bleibt die Temperatur in der aktiven Zone bei ±0,1°C konstant – somit können die Trocknungsprozesse genau nach Vorgabe ablaufen.