http://ir-glass-heat.com/de/tags/saphir/ Recent content in Saphir on Infrared Glass Heating Technology Hugo de Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Saphir Wafer Bearbeitungsofen"></p> <h1 id="auf-der-fertigungsebene">Auf der Fertigungsebene</h1> <p>Die 2-Zoll-Saphirwafer liegen unter der Lithografieträger, während sie auf ein Soft-Bake warten. Sie benötigen 110°C über die gesamte Oberfläche, nicht nur das, was das Thermoelement anzeigt. Alles darunter führt zu einer Drift des Fotolackprofils. Wenn Sie die Temperatur erhöhen, verbrennen Sie Ihr thermisches Budget.</p> <h2 id="was-technisch-wirklich-zählt">Was technisch wirklich zählt</h2> <p>Die Heizgeräte, die wir für die Verarbeitung von Saphirwafern verwenden, sind kurzwellige Infrarot (SWIR) Quarzstrahler. Sie geben Wärme direkt und schnell ab, mit sehr geringer thermischer Trägheit. Die Wafer-Ebene hält eine Uniformität von ±0,1°C über dem Chuck, und die Wiederholbarkeit von Schicht zu Schicht bleibt innerhalb von ±0,2°C. Die Plattform ist kompatibel mit <a href="https://o-yate.com">Reinr</a>äumen der Klasse 1–100, und die Teile sind so gewählt, dass die Partikelerzeugung während des stationären Betriebs bei null bleibt. Sie erhalten 24/7 Zuverlässigkeit ohne ungeplante Ausfallzeiten, und die Fotolack-Bake-Profile sind ausreichend wiederholbar, um die Linienbreitenkontrolle stabil zu halten.</p>