Infrarotmodul zur Trocknung von Fotolacken

Sun, 28 Jun 2026 05:44:04 +0800

Auf dem Lithoflachbett ist eine Abweichung von einem Halbdregrad bei der soften Trocknung des Fotoleitmittels keine „Toleranz“. Es handelt sich dabei um einen fehlerhaften Wafer. Die Trocknung des Fotoleitmittels hängt von der thermischen Kontrolle ab – und das Infrarotmodul ist der entscheidende Faktor dafür, ob die Qualität erhalten bleibt oder nicht.

Was wirklich wichtig ist Wir verwenden ein Infrarotmodul zur Trocknung des Fotoleitmittels, das eine thermische Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C gewährleistet. Zudem sorgt es dafür, dass die Trocknungsprofile von Charge zu Charge konstant bleiben. Die Wahl des Emitter types ist bewusst getroffen worden: Near-Infrarot, denn dadurch wird eine schnelle Reaktion erzielt, während gleichzeitig eine präzise Steuerung des Spektrums möglich ist. Dadurch werden thermische Verzögerungen vermieden. Das System ist für Reinräume der Klasse 1–100 konzipiert und wurde so entwickelt, dass keine Partikel entstehen. Dies wird durch eine kontinuierliche Überwachung der Partikelzahl im Reinraum überprüft. Das System soll 24/7 ohne unplanmäßige Stillstände arbeiten. Die Wartung erfolgt in Zeiten, in denen der Produktionsprozess unterbrochen wird.

Photolack on Infrared Glass Heating Technology

Infrarotmodul zur Trocknung von Fotolacken