http://ir-glass-heat.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Infrared Glass Heating Technology Hugo de Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 29 Jun 2026 07:07:39 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensor Wafern"></p> <p>Beobachten Sie, wie eine Waferplatte von der Spülstation herauskommt. Es dürfen keine Wasserflecken vorhanden sein. Der Fotolack kann keinen Temperatursprüngen standhalten. Wenn die Trocknungsanlage nicht die richtige Temperatur erreichen kann, sinkt die Qualität der Wafer – es muss erneut nachgearbeitet werden, und weitere Chargen müssen als unbrauchbar entsorgt werden.</p> <p><strong>Was steckt technisch dahinter?</strong> Wir haben den Heizer für die Trocknung der MEMS-Sensorwafer mit schnell reagierenden, für Reinräume geeigneten Heizelementen sowie einem auf Quarz basierenden Wärmemanagement-System konstruiert. Dadurch bleibt die Temperatur in der aktiven Zone bei ±0,1°C konstant – somit können die Trocknungsprozesse genau nach Vorgabe ablaufen.</p>