Kristallglas Schutzschild für Fertigungslichtquelle

Sun, 19 Jul 2026 16:00:53 +0800

Warum man in einer Halbleiterfabrik tatsächlich Schutzschirme aus Quarzglas benötigt
In einer Halbleiterfabrik ist die Wärmebewirtschaftung von entscheidender Bedeutung. Schon eine kleine Temperaturschwankung kann dazu führen, dass eine Charge teurer Wafer unbrauchbar wird. Die meisten Menschen nutzen Infrarot-Heizlampen, um ein schnelles Trocknen und Erhitzen der Wafer zu erreichen. Doch diese Lampen dürfen nicht ungeschützt bleiben – da kommen die Schutzschirme aus Quarzglas ins Spiel.

Man kann sie als „Leibwächter“ der Heizelemente betrachten.

Wärme und Reinheit
Für solche Schutzschirme verwenden wir geschmolzenes Siliziumquarz – dieses Material kann extreme Belastungen hervorragend aushalten. In einer Fabrik werden die Heizlampen ständig ein- und ausgeschaltet. Wenn man normales Glas verwendet, würde dieses bereits bei der ersten thermischen Belastung zerbrechen. Quarz hingegen lässt kurzwelliges Infrarotlicht ungehindert durch – dadurch trifft die Wärme direkt auf die Wafer, anstatt im Schutzschirm gefangen zu bleiben. Zudem achten wir darauf, dass die Reinheit des Quarzes hoch bleibt. Wenn das Quarzmaterial „schmutzig“ wird, färbt es sich mit der Zeit gelb. Dadurch wird die Wärme abgeblockt – man muss dann die Leistung erhöhen, um die gewünschten Temperaturen zu halten. Das will natürlich niemand.

Glas on Infrared Glass Heating Technology

Kristallglas Schutzschild für Fertigungslichtquelle