http://ir-glass-heat.com/de/tags/beschichter/ Recent content in Beschichter on Infrared Glass Heating Technology Hugo de Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/de/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Spinbeschichter Backofenlampe"></p> <p>Auf dem Lithografie-Floor reicht eine Drift von einem halben Grad bei der Backtemperatur aus, um eine <a href="https://o-yate.com">gesamte</a> Wafercharge zu verwerfen. Softbake und Hardbake sind nicht nur Wärmezyklen – sie sind dimensionskontrollierende Prozesse. Wenn die Lampe den Sollwert über den gesamten Wafer nicht halten kann, fällt die CD-Uniformität auseinander, und damit auch der Ertrag.</p> <p>Wir haben die Backlampe des Spin Coaters um eine Nahinfrarot-(NIR)-Quarz-Halogenlampe aufgebaut. Diese liefert eine schnelle, direkte thermische Reaktion und eine stabile Strahlungsleistung. Das <a href="https://o-yate.net">System</a> zielt auf eine Wafer-gleichmäßigkeit von ±0,1°C ab, und die Reproduzierbarkeit sorgt für eine konstante Lösungsmittelentfernung, Lauf für Lauf.</p>