http://ir-glass-heat.com/cs/tags/to%C4%8Dit/ Recent content in Točit on Infrared Glass Heating Technology Hugo cs Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/cs/posts/spin-coater-bake-lamp/ Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800 http://ir-glass-heat.com/cs/posts/spin-coater-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Spin coater pečicí lampa"></p> <p>Na lithografické <a href="https://henruite.com">podlaze</a> stačí půlstupňový posun v teplotě pečení k tomu, aby byla znehodnocena celá várka waferů. Soft bake a hard bake nejsou jen tepelné cykly – představují rozmě<a href="https://o-yate.net">rovou</a> kontrolu. Pokud lampa nedokáže udržet nastavenou hodnotu přes celý wafer, uniformita CD se rozpadá a s ní i výtěžnost.</p> <p>Spin coater pečicí lampa je postavena kolem křemíkového halogenidového zdroje ve spektru blízké infračervené (NIR). Poskytuje rychlou, přímou tepelnou odezvu a stabilní zářivý výkon. Systém cílí na uniformitu na úrovni waferu v rámci ±0,1 °C a opakovatelnost zajišťuje konzistentní odstraňování rozpouštědel běh od běhu.</p>