http://ir-glass-heat.com/cs/tags/spare/ Recent content in Spare on Infrared Glass Heating Technology Hugo cs Tue, 09 Jun 2026 03:40:12 +0800 http://ir-glass-heat.com/cs/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Tue, 09 Jun 2026 03:40:12 +0800 http://ir-glass-heat.com/cs/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Náhradní díl vakuového topení Leybold"></p> <p>On the wafer floor není pečení fotoresistu jen pečením – je to tepelný rozpočet. Posun o půl stupně v rámci pole může změnit kritické rozměry a teplotní profil, který se nebude opakovat, může rychle zničit výtěžnost. Když Leybold vakuový ohřívač začne podávat horší výkon, toleranční limity litografie se zpřísní a množství odpadu stoupá ještě předtím, než se wafer dostane k leptání.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Náhradní díly Leybold vakuového ohřívače využívají krátkovlnné infračervené (NIR) elementy k vytvoření tepelného pole, které je rovnoměrné až na submilimetrové úrovni. Zajišťují řízení teploty na úrovni waferu s opakovatelností, která zůstává konzistentní, cyklus po cyklu. Konstrukce je připravena pro cleanroom, s nízkou produkcí částic a splňuje normy Class 1–100. V praxi to znamená, že profily soft bake a hard bake přesně kopírují recepturu opakovaně.</p>