http://ir-glass-heat.com/cs/tags/removal/ Recent content in Removal on Infrared Glass Heating Technology Hugo cs Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/cs/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Tue, 23 Jun 2026 00:06:58 +0800 http://ir-glass-heat.com/cs/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Lampa na odstranění vlhkosti z waferů"></p> <p>V provozu výroby není vlhkost zbylá po čištění jen nepříjemností. Vstřebává se do fotorezistu během procesu zahřívání, mění tak kritické rozměry a vede ke snížení kvality výrobku. Lampa na odstranění vlhkosti z destiček řeší tento problém přímo – odstraňuje povrchovou vlhkost ještě předtím, než dojde k poškození fotorezistu.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř lampy</strong><br> Lampu jsme navrhli s využitím krátkovlnných halogenových zdrojů světla umístěných v křemenném obalu. Cílem je rychlé ohřev povrchu s minimální tepelnou hmotností. Dokáže rychle dosáhnout požadované teploty, reakce trvá méně než sekundu a rovnoměrnost teploty na povrchu destičky je v rozmezí ±0,1 °C. Profil paprsku je přizpůsoben průměru destičky a rychlosti skenování, takže tepelné podmínky zůstávají pod kontrolou a chemické vlastnosti fotorezistu zůstávají zachovány. Lampa je kompatibilní s čistými prostředími – používají se <a href="https://henruite.com">materi</a>ály odpovídající normám tříd 1–100, uzavřený obal a během kontinuálního provozu nedochází k tvorbě částic.</p>