Bake on Infrared Glass Heating Technology

Lampa na měkké vypalování fotorezisty

Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800

Na litografické ploše se mírné výkyvy teploty během procesu vypalování neprojevují jako závažné problémy. Projevují se spíše jako variace v šířce linií, přítomnost rozpouštědel v fotorezistu a odpadní materiál, který se objevuje až po několika hodinách. Potřebujete tedy lampu, která udrží teplotu fotorezistu přesně na úrovni stanovené v receptuře – cyklus za cyklem.

Co je technicky důležité
Používáme emitory v oblasti blízké infračerveného světla s spektrálním výstupem navrženým tak, aby rychle a rovnoměrně působil na fotorezist. Díky tomu nedochází k rozdílům teploty mezi povrchem a spodní částí fólie. Jednotnost teploty na úrovni wafru dosahuje ±0,1 °C v celé oblasti vypalování, což přímo vede k konzistentní viskozitě a správnému chování povlaku. Systém funguje nepřetržitě bez vzniku jakýchkoliv částic – je kompatibilní s čistými místnostmi od třídy 1 do třídy 100. Výstupní intenzita zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkami pod 5 %. Termální profil se také opakuje u každé série výroby.

Spin coater pečicí lampa

Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800

Na lithografické podlaze stačí půlstupňový posun v teplotě pečení k tomu, aby byla znehodnocena celá várka waferů. Soft bake a hard bake nejsou jen tepelné cykly – představují rozměrovou kontrolu. Pokud lampa nedokáže udržet nastavenou hodnotu přes celý wafer, uniformita CD se rozpadá a s ní i výtěžnost.

Spin coater pečicí lampa je postavena kolem křemíkového halogenidového zdroje ve spektru blízké infračervené (NIR). Poskytuje rychlou, přímou tepelnou odezvu a stabilní zářivý výkon. Systém cílí na uniformitu na úrovni waferu v rámci ±0,1 °C a opakovatelnost zajišťuje konzistentní odstraňování rozpouštědel běh od běhu.

Polyimidová infračervená pečicí lampa

Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800

Na lince hodiny na nikoho nečekají. 300mm plátek putuje od nanášení po soft bake, pak do expozice a tepelný rozpočet, který nastavíte v těch prvních minutách, určuje pravidla pro uniformitu CD, úhel bočních stěn a – v konečném důsledku – výtěžnost. Když začnou pieckové lampy driftovat, vytvářet horká místa přes pole nebo selžou úplně, linka se zastaví, fronta se prodlužuje a náklady na plátek rostou ještě před tím, než je vůbec první vzor napsán.

Polyimidové vypalování je otázkou opakovatelného tepla. Živici je třeba dostat do správného teplotního okna Tg bez výbuchu rozpouštědla, bez vzniku povrchové vrstvy a bez přidání částic. Infračervené záření může zajistit tuto kontrolu – rychle a stabilně – ale pouze pokud jsou emitor, optika a regulační smyčka považovány za jeden tepelný systém, nikoli za krabici s připevněným topením.