Bake on Infrared Glass Heating Technology

ফটোরেসিস্ট সফ্ট বেক ল্যাম্প

Wed, 01 Jul 2026 12:53:57 +0800

লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, নরম বেকিং তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলো কোনো গুরুতর সমস্যা হিসেবে দেখা দেয় না। এগুলো লাইনের প্রস্থের পরিবর্তন, রেজিস্টে অবস্থিত দ্রবণগুলো, এবং কয়েক ঘণ্টা পরে দেখা দেওয়া অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো হিসেবে প্রকাশ পায়। আপনার দরকার এমন একটি ল্যাম্প, যা ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রাকে ঠিক সেই মাত্রায় রাখতে পারে—চক্র থেকে চক্রান্তে।

প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা নিয়ার-ইনফ্রারেড (NIR) এমিটার ব্যবহার করি; এর স্পেকট্রাল আউটপুট এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে রেজিস্টটি দ্রুত ও সমানভাবে উত্তপ্ত হয়। ফলে ফিল্মের উপরিভাগ ও নিচের অংশে তাপমাত্রার পার্থক্য হয় না। বেকিং জোনে তাপমাত্রার সামঞ্জস্যতা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; এর ফলে কোটিংয়ের গুণমান স্থিতিশীল থাকে। সিস্টেমটি কোনো ধরনের বিঘ্ন ছাড়াই কার্যকর থাকে—ক্লাস 1 থেকে ক্লাস 100 পর্যন্ত সব ধরনের ক্লিনরুমেই এটি ব্যবহার করা যেতে পারে। 5,000+ ঘণ্টা ধরে আউটপুটটি স্থিতিশীল থাকে; তীব্রতার পরিবর্তন 5% এর কম হয়। প্রতিটি চক্রেই তাপমাত্রা একই থাকে।

স্পিন কোটার বেক ল্যাম্প

Tue, 02 Jun 2026 06:07:05 +0800

On the lithography floor, a half-degree drift in bake temperature is enough to scrap an entire wafer lot. Soft bake and hard bake aren’t just heat cycles — they’re dimensional controls. If the lamp can’t hold setpoint across the whole wafer, CD uniformity falls apart, and yield goes with it.
আমদানি মেঝেতে, বেক তাপমাত্রায় অর্ধ-ডিগ্রি ড্রিফ্ট পুরো ওয়াফার লট খারাপ করার জন্য যথেষ্ট। সফট বেক এবং হার্ড বেক কেবল তাপ চক্র নয়—এগুলো মাত্রাগত নিয়ন্ত্রণ। ল্যাম্প যদি পুরো ওয়াফার জুড়ে সেটপয়েন্ট ধরে রাখতে না পারে, তাহলে CD একরূপতা ভেঙে যায় এবং ফলন হ্রাস পায়।

পলিমাইড বেক ইনফ্রারেড ল্যাম্প

Mon, 01 Jun 2026 02:29:58 +0800

লাইন ধরে, ঘড়ি কারো জন্য অপেক্ষা করে না। একটি 300 mm ওয়েফার কোট থেকে সফট বেকের দিকে প্রবাহিত হয়, তারপর এক্সপোজারে প্রবেশ করে, এবং প্রথম কয়েক মিনিটে আপনি যে থার্মাল বাজেট সেট করেন তা CD ইউনিফর্মিটি, সাইডওয়াল অ্যাঙ্গেল এবং—সবশেষে—ইয়িল্ডের নিয়ম নির্ধারণ করে। যখন বেক ল্যাম্প ড্রিফট করতে শুরু করে, ফিল্ড জুড়ে হটস্পট ছড়ায়, অথবা সম্পূর্ণরূপে ব্যর্থ হয়, তখন লাইন বন্ধ হয়ে যায়, কিউ জমে যায়, এবং প্রথম প্যাটার্ন লেখার আগেই প্রতি ওয়েফারের খরচ বাড়তে শুরু করে।