লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, নরম বেকিং তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলো কোনো গুরুতর সমস্যা হিসেবে দেখা দেয় না। এগুলো লাইনের প্রস্থের পরিবর্তন, রেজিস্টে অবস্থিত...

লিথো ফ্লোরে, সফট বেকিংয়ের সময় অর্ধ-ডিগ্রির পরিবর্তনও “টলারেন্স” হিসেবে গণ্য হয় না। এটা অকেজো ওয়েফার হিসেবেই বিবেচিত হয়। ফটোরেসিস্ট শুকানোর...

On the lithography floor, a support heater going down during photoresist stripping stops the line cold. Wafers start piling up with residues, scrap...