http://ir-glass-heat.com/bn/tags/%E0%A6%A8%E0%A7%80%E0%A6%B2%E0%A6%AE%E0%A6%A3%E0%A6%BF/ Recent content in নীলমণি on Infrared Glass Heating Technology Hugo bn Mon, 08 Jun 2026 05:09:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/bn/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:04 +0800 http://ir-glass-heat.com/bn/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="স্যাফায়ার ওয়েফার প্রোসেসিং হিটার"></p> <p>ফ্যাব ফ্লোরে, ২ ইঞ্চি স্যাফায়ার ওয়াফার <a href="https://o-yate.net">lithography</a> ট্র্যাকের নিচে ঢুকে আছে, Soft Bake এর অপেক্ষায়। পুরো সারফেস জুড়ে ১১০°C দরকার, শুধু থার্মোকাপল যা পড়ছে তা নয়। কম কিছুর হলে ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল ড্রিফট করে। বেশি চাপালে থার্মাল বাজেট পুড়ে যায়।</p> <h2 id="পরযকতগত-দক-থক-য-আসল-গরতবপরণ">প্রযুক্তিগত দিক থেকে যা আসলে গুরুত্বপূর্ণ</h2> <p>স্যাফায়ার ওয়াফার প্রসেসিংয়ের জন্য আমরা যেসব হিটার ব্যবহার করি তা হল শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (SWIR) কোয়ার্টজ ইমিটার। এগুলো সরাসরি এবং দ্রুত তাপ দিয়ে থাকে, খুব কম থার্মাল ইনর্শিয়ার সঙ্গে। ওয়াফার-লেভেল ইউনিফরমিটি ±0.1°C এর মধ্যে থাকে চকের উপর, এবং শিফট থেকে শিফট রিপিটারেবিলিটি ±0.2°C এর মধ্যে নিয়ন্ত্রণ করা হয়।<br> প্ল্যাটফর্মটি Class 1–100 ক্লিনরুমের সঙ্গে সামঞ্জস্যপূর্ণ, এবং যেহেতু অংশগুলো নির্বাচন করা হয়, steady-state চলাকালীন কোনো কণা উৎপত্তি হয় না। ২৪/৭ নির্ভরযোগ্যতা পাওয়া যায়, কোনো অনাকাঙ্ক্ষিত ডাউনটাইম ছাড়াই, এবং ফটোরেজিস্ট বেক প্রোফাইল যথেষ্ট রিপিটেবল যাতে লাইন উইথ কন্ট্রোল সক্রিয় থাকে।</p>