http://ir-glass-heat.com/ar/tags/%D9%8A%D8%A7%D9%82%D9%88%D8%AA-%D8%A7%D9%84%D8%A3%D8%B2%D8%B1%D9%82/ Recent content in ياقوت الأزرق on Infrared Glass Heating Technology Hugo ar Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ar/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ Mon, 08 Jun 2026 05:09:03 +0800 http://ir-glass-heat.com/ar/posts/sapphire-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-glass-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="سخان معالجة شريحة الياقوت"></p> <p>على أرض المصنع، شريحة الياقوت بقطر 2 إنش موجودة تحت مسار الليثوغرافي، تنتظر إجراء الـ Soft Bake. أنت بحاجة إلى 110°C عبر السطح كاملًا، وليس فقط حسب قراءة الثرموقبل. أي درجة حرارة أقل من ذلك تؤدي إلى انحراف ملف الفوتوريسست. رفعها أعلى من ذلك يستهلك جزءًا من ميزانيتك الحرارية.</p> <h2 id="ما-يهم-فعليا-من-الناحية-التقنية">ما يهم فعليًا من الناحية التقنية</h2> <p>السخانات التي نستخدمها لمعالجة شرائح الياقوت هي منبعثات كوارتز بتردد الأشعة تحت الحمراء الموجية القصيرة (SWIR). تنقل الحرارة مباشرة وبسرعة، مع انخفاض كبير في العزم الحراري. تتوفر اتساق درجة الحرارة على مستوى الشريحة ضمن ±0.1°C عبر الشاك، وتتكرر الدقة عند الانتقالات بين الدورات ضمن ±0.2°C.<br> المنصة متوافقة مع غرف نظيفة من الفئة 1 إلى 100، والأجزاء مختارة بحيث لا يحدث توليد لذرات أثناء التشغيل المستقر. تحصل على موثوقية 24/7 دون توقف غير مخطط له، وملفات خبز الفوتوريسست متكررة بدقة تكفل ثبات التحكم في عرض الخطوط.</p>