晶圆加工设备用温度传感器

在晶圆加工过程中，每一瓦特的能量都必须得到充分利用。传统的做法是使用普通温度传感器，但这只会让大量热量白白散失到空气中。既然如此，我们便设计出了另一种传感器：这种传感器被黄金包裹着，能够将热量重新引导回需要的地方。 其原理很简单：尽可能多地将可用热量传递给晶圆，而不是让它浪费掉。 热量的有效利用...