光刻胶软烘灯

在光刻过程中，如果烘烤温度出现轻微的波动，那并不会立即导致明显的缺陷。这些波动会表现为线条宽度的变化、抗蚀剂中残留的溶剂，以及数小时后才显现出来的废品问题。因此，需要一种能够将抗蚀剂所在区域的热量控制在规定范围内的光源——这样才能保证每轮光刻过程的稳定性。 从技术层面来看，以下几点非常重要： 我们...