快速响应红外线加热灯泡

在晶圆车间，秒是衡量单位，温度漂移是等待发生的良率损失。在光刻胶处理过程中，软烘烤是清除溶剂并设定薄膜均匀性的过程；硬烘烤则锁定了必须在刻蚀过程中存活的交联。如果您的热源无法立即达到设定点并在整个晶圆上保持该温度，您将面临线宽变化、边缘珠和剩余溶剂缺陷的问题。 底层的关键因素 我们使用快速响应的红...