为什么我们在晶圆固化过程中放弃热风加热，转而使用红外反射器？
如果您从事过半导体加工工作，就应该知道热风循环加热的弊端。这种方式的效率极其低下——实际上，我们是在让一整个空间的空气变热，只为让少量热量传递到小小的晶圆上。这就好比试图先加热车道来为房子供暖一样。
正因如此，我们才转向使用红外线加热。与依赖空气流动不同，红外线可以直接照射到目标物体上，从而更高效地传递热量。
关键在于反射器 其实，光靠固化灯本身是远远不够的。如果没有反射器，那么一半的能量就会被浪费掉。我们使用具有高反射率的特殊涂层制成的反射器，将光子反射回晶圆上。这样就能集中热量。此外，通过调整反射器的形状，还可以确保热量均匀分布，避免出现“冷点”或晶圆变形的情况，从而实现更均匀的固化效果。
克服热惯性带来的问题 使用热风烤箱时，最麻烦的就是等待时间。需要很长时间才能让炉腔内的温度上升。如果需要调整温度以适应不同的工艺要求，那就只能继续等待，直到空气温度稳定下来。这无疑会占用大量时间。
而红外线系统则没有这个问题。只需按下开关，晶圆就能在几秒钟内达到目标温度。这无疑能大大提高工作效率，无需建造更大的工厂即可处理更多批次的产品。
当然，也有缺点（因为没有什么是完美的） 虽然红外线加热方式很有效，但它也有自己的缺点。由于这些灯具产生的热量非常大，因此需要一套强大的冷却系统来处理这些热量。同时，还需要保持设备的清洁度。如果反射器被污染，污染物就会附着在其表面，从而降低其反射率，甚至导致温度急剧上升。
如果您考虑放弃传统对流加热方式，那么请先评估一下您的生产流程中的等待时间。如果您大部分时间都在等待设备升温或降温，那么使用红外线反射器显然是个更好的选择。