Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng công nghệ tia hồng ngoại để sản xuất các chất bán dẫn không chứa chì
Ngành công nghiệp chất bán dẫn đang hướng tới việc sử dụng các phương pháp sấy khô không chứa chì và không gây ô nhiễm môi trường. Thật ra, đã đến lúc cần làm như vậy rồi. Trong nhiều năm qua, chúng ta vẫn phải dựa vào những lò sấy kiểu luồng khí. Những lò này chỉ đơn giản là làm nóng không khí bên trong, điều này gây lãng phí năng lượng; hơn nữa, nguy cơ làm cho các hạt nhỏ bay vào các tấm wafer là rất cao.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng công nghệ tia hồng ngoại. Thay vì làm nóng không khí, tia hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để tác động trực tiếp lên bề mặt vật liệu cần xử lý. Không cần có trung gian nào, cũng không cần luồng khí nóng. Chỉ cần năng lượng được truyền trực tiếp thôi.
Sức mạnh kỳ diệu của bức xạ hồng ngoại
Cách thức hoạt động của công nghệ này như sau: chúng ta điều chỉnh bước sóng của tia hồng ngoại sao cho phù hợp với loại lớp phủ hoặc chất liệu mà chúng ta đang sử dụng. Trong trường hợp sản xuất chất bán dẫn không chứa chì, chúng ta sử dụng tia hồng ngoại bước sóng ngắn và trung bình. Điều này giúp quá trình trùng hợp polymer và bay hơi dung môi diễn ra nhanh chóng. Thật nhanh!
Hãy tưởng tượng xem: một lò sấy kiểu luồng khí cần vài phút mới có thể đạt đến nhiệt độ cần thiết. Còn những lò sấy sử dụng tia hồng ngoại thì chỉ cần vài giây thôi. Điều này thay đổi hoàn toàn quy trình sản xuất.
Giữ cho mọi thứ sạch sẽ và mát mẻ
Vì quá trình này phải diễn ra trong môi trường sạch, chúng tôi sử dụng vỏ lò làm từ thép không gỉ chất lượng cao. Chúng tôi tránh sử dụng các vật liệu được phủ lớp kim loại, vì chúng dễ bong tróc hoặc tỏa khí, điều này ảnh hưởng xấu đến chất lượng wafer. Ngoài ra, thép không gỉ còn có khả năng phản xạ bức xạ hồng ngoại trở lại vật liệu cần xử lý, giúp tránh việc mất nhiệt.
Tuy nhiên, cũng có một trở ngại: các bộ phát tia hồng ngoại có mật độ cao sẽ tỏa nhiệt rất lớn. Nếu dòng khí không được điều chỉnh đúng cách, vỏ lò có thể bị biến dạng hoặc toàn bộ hệ thống có thể ngừng hoạt động để bảo vệ bản thân. Để tránh điều này, chúng tôi thường lắp đặt hệ thống làm mát bằng khí nén ở phía sau vỏ lò. Điều này giúp giữ cho vỏ lò ổn định và các linh kiện hoạt động tốt.
Tốt cho môi trường, tốt cho chi phí
Khi muốn loại bỏ chì và các chất gây ô nhiễm, chúng ta cần phải cẩn thận. Nếu nung quá lâu, chúng ta sẽ làm hỏng sản phẩm. Ưu điểm của công nghệ tia hồng ngoại là chúng ta có thể điều chỉnh nhiệt độ ở từng khu vực cụ thể, mà không cần phải sử dụng lò sấy lớn. Điều này giúp giảm đáng kể lượng năng lượng tiêu thụ cho mỗi tấm wafer. Đó là cách dễ dàng nhất để đáp ứng các tiêu chuẩn ISO 14001. Bạn không còn phải đối phó với những hạn chế của những lò sấy lớn nữa, mà có thể kiểm soát năng lượng một cách chính xác ở những nơi cần thiết.