Trên bề mặt silic, sự chênh lệch nhiệt độ chỉ 0,5 độ cũng không thể coi là giá trị chấp nhận được. Đó chính là dấu hiệu cho thấy wafer đã bị hỏng. Quá trình làm khô chất phủ quang học phụ thuộc hoàn toàn vào kiểm soát nhiệt độ; mô-đun hồng ngoại chính là yếu tố quyết định việc có thể tạo ra sản phẩm chất lượng cao hay không.
Điều quan trọng thực sự là gì? Chúng tôi sử dụng mô-đun làm khô chất phủ quang học bằng ánh sáng hồng ngoại, giúp duy trì độ đồng đều nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên từng wafer. Mô-đun này còn giúp duy trì các thông số nhiệt độ ổn định từ lô sản xuất này sang lô sản xuất khác. Loại tia hồng ngoại được chọn là tia hồng ngoại gần, vì nó mang lại hiệu suất xử lý nhanh và khả năng kiểm soát phổ ánh sáng chính xác. Điều này giúp loại bỏ các sai số nhiệt độ. Hệ thống này được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, đồng thời được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào, điều này được kiểm tra thông qua việc giám sát hạt bụi ngay tại chỗ. Hệ thống có thể hoạt động 24/7 mà không có sự gián đoạn nào, và thời gian bảo trì được tính toán sao cho phù hợp với các giai đoạn chuyển đổi sản xuất.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình xử lý chất phủ quang học? Chất phủ quang học rất nhạy cảm với nhiệt độ. Quá trình làm khô chất phủ giúp loại bỏ dung môi, còn quá trình nung chảy giúp cố định mức độ bám dính của chất phủ và duy trì độ ổn định của kích thước các chi tiết trên wafer. Với mô-đun này, bạn có thể kiểm soát tốt hơn nhiệt độ, giảm lượng dung môi còn sót lại, và giảm thiểu việc phải tái xử lý wafer. Kết quả là việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer trở nên chính xác hơn, số lượng lỗi giảm đi, và thời gian sản xuất cũng được kiểm soát tốt hơn. Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm xuống, vì tia hồng ngoại có khả năng phản ứng nhanh, giúp rút ngắn thời gian xử lý mà không làm ảnh hưởng đến chất lượng wafer, từ đó giảm chi phí sản xuất.
Những gì cần chú ý khi lắp đặt Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo rằng kích thước buồng nung phù hợp với mô-đun, đồng thời phải kiểm tra xem điện áp và kết nối giữa các linh kiện có tương thích hay không. Thông thường, điện áp sử dụng là 240 V. Mô-đun này cần được lắp đặt trong môi trường sạch và khô, cùng với giao diện kết nối phù hợp với tiêu chuẩn của phòng sạch. Quá trình khởi động hệ thống khá nhanh, nhưng việc điều chỉnh các thông số như độ phát xạ ánh sáng và tốc độ quét lại rất quan trọng. Một khi mọi thứ đã được điều chỉnh ổn định, quy trình sản xuất sẽ diễn ra liên tục. Nhưng cần lưu ý rằng việc lắp đặt ban đầu không phải là việc đơn giản.