Làm thế nào để ngăn chặn hiện tượng vỡ mảnh vật liệu trong phòng sạch loại 100?
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại 100 (ISO 5), chắc hẳn bạn đã biết rõ những khó khăn liên quan đến việc kiểm soát lượng khí thải ra bên ngoài. Chỉ cần một mảnh vụn nhỏ hoặc một lượng nhỏ chất VOCs tiếp xúc với các wafer trong môi trường có nhiệt độ cao, hiệu suất sản xuất của bạn sẽ giảm sút đáng kể.
Các cuộn dây gia nhiệt thông thường không phải là giải pháp tốt. Chúng dễ bị vỡ, bong tróc, và không thể được sử dụng trong môi trường đòi hỏi độ chính xác cao như vậy.
Đó là lý do tại sao chúng tôi chọn sử dụng đèn hồng ngoại bằng thạch anh có độ tinh khiết cao.
Tại sao lại chọn thạch anh?
Đó là do tính chất vật liệu của nó. Chúng tôi sử dụng silic nguyên chất, có độ tinh khiết cao đủ để ngăn chặn các ion xâm nhập vào các wafer bán dẫn. Khác với các bộ gia nhiệt bằng kim loại, thạch anh không bị oxi hóa theo thời gian. Nó có tính chất hóa học ổn định; không bị bong tróc, không có bụi kim loại rơi xuống bề mặt wafer. Hơn nữa, bức xạ hồng ngoại ngắn sóng từ đèn này có thể tác động trực tiếp lên vật thể cần gia nhiệt. Bạn sẽ không lãng phí năng lượng để làm nóng toàn bộ buồng gia nhiệt chỉ để làm nóng vật thể đó.
Vấn đề liên quan đến công suất
Những chiếc đèn này được thiết kế để hoạt động trong điều kiện công suất cao. Khi bạn muốn thực hiện quy trình xử lý nhiệt nhanh, yếu tố quan trọng nhất chính là công suất trên mỗi centimet vuông. Chúng tôi có thể điều chỉnh điện áp và công suất sao cho phù hợp với nguồn điện của bạn. Nhưng cần lưu ý rằng đèn thạch anh có công suất cao sẽ rất nóng. Nếu bạn tăng công suất quá mức, hãy chắc chắn rằng hệ thống dây điện và khung đỡ có thể chịu đựng được nhiệt độ đó. Nếu không, đèn sẽ bị hỏng sớm.
Cách lắp đặt và bảo trì đèn
Chúng tôi sử dụng các konektor tiêu chuẩn, vì vậy bạn có thể dễ dàng thay thế chúng vào hệ thống hiện có mà không gặp khó khăn gì. Vỏ đèn thạch anh được đóng kín chặt, giúp bảo vệ sợi dây tóc bên trong khỏi bị oxi hóa.
Tuy nhiên, cũng có một điểm cần lưu ý: Thạch anh thích nhiệt, nhưng lại không thích bị tác động cơ học. Nó rất dễ bị nứt vỡ nếu bị tác động quá mạnh. Vì vậy, hãy sử dụng các khung đỡ mềm để bảo vệ đèn, giúp đèn hoạt động ổn định trong suốt quá trình xử lý nhiệt.