На літографічному покритті незначні коливання температури під час процедури випалювання не є серйозною проблемою. Вони проявляються у зміні ширини...

На поверсі літографії зсув температури випікання навіть на півградуса призводить до браку всієї партії пластин. Soft bake і hard bake — це не просто...

На виробничій лінії годинник нікого не чекає. Вафель 300 мм проходить від нанесення покриття до м’якого випікання, потім у експозицію, а тепловий...