На літого-підлозі навіть напівградусна відхилення у процесі термообробки не є „допустимими“. Це означає, що відповідний віфер буде відкинутий. Процес висихання фоточутливої суміші залежить від температурного режиму; інфрачервоний модуль є ключовим елементом, який визначає успіх чи провал цього процесу.
Що насправді має значення Ми використовуємо інфрачервоний модуль для висихання фоточутливої суміші, який забезпечує температурну однорідність на рівні віфера в межах ±0,1°C. Це також дозволяє зберігати стабільні параметри термообробки з партії до партії. Вибір випромінювача є свідомим – це ближнє інфрачервоне випромінювання, оскільки воно забезпечує швидку та ефективну реакцію, а також точний контроль спектру. Це усуває проблеми, пов’язані з температурними затримками. Система призначена для використання в чистих кімнатах класу 1–100 та розроблена так, щоб не створювати жодних частинок пилу – це підтверджується за допомогою контролю за частинками на місці. Система може працювати 24/7 без перерв, а час обслуговування підбирається з урахуванням потреб під час зміни продукції.
Чому це важливо під час обробки фоточутливої суміші Фоточутлива суміш вимагає ретельного підходу під час обробки. Процес „м’якої“ термообробки дозволяє усунути розчинники, а процес „жорсткої“ термообробки забезпечує стабільність адгезії та критичних розмірів. За допомогою цього модуля можна стабілізувати температурний режим, скоротити кількість розчинників, які залишаються на поверхні віфера, та зменшити кількість необхідних корекцій. Це призводить до кращого контролю над розмірами віфера, меншої кількості дефектів та можливості планування часу виконання процесу. Також знижується споживання енергії – інфрачервоне випромінювання діє швидко, тож можна скоротити час термообробки без порушення параметрів, що знижує вартість одного віфера.
Що потрібно зробити правильно під час встановлення Інтеграція модуля полягає у забезпеченні сумісності розмірів камери та параметрів напруги та з’єднань – для високої потужності зазвичай використовується напруга 240 В. Модуль потребує чистого та сухого середовища для охолодження, а також інтерфейсу для монтажу, придатного для використання в чистих кімнатах. Налаштування модуля займає небагато часу, але це має значення – потрібно налаштувати параметри випромінювання та швидкості сканування відповідно до характеристик фоточутливої суміші. Як тільки все налаштовано, процес може працювати стабільно. Але не слід думати, що початкова налаштування є простою – це вимагає уваги.