บนพื้นผิวหิน ความเบี่ยงเบนเพียงครึ่งองศาในระหว่างการอบก็ถือว่าไม่ใช่ “ค่าที่สามารถยอมรับได้” แต่เป็นสัญญาณว่าวีเดียร์นั้นใช้การไม่ได้ การทำให้สารโฟโตเรซิสต์แห้งนั้นขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวด และโมดูลอินฟราเรดก็เป็นจุดสำคัญที่กำหนดว่าจะได้ผลลัพธ์ที่ดีหรือไม่
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราใช้โมดูลอินฟราเรดสำหรับการทำให้สารโฟโตเรซิสต์แห้ง ซึ่งช่วยรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับวีเดียร์ไว้ที่ ±0.1°C และยังช่วยให้กระบวนการอบมีความสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิต การเลือกชนิดของอินฟราเรดนั้นมีความสำคัญมาก เพราะอินฟราเรดชนิดนี้สามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดปัญหาเรื่องความล่าช้าในการอบและความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ระบบนี้ถูกออกแบบมาสำหรับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และมีการออกแบบมาเพื่อไม่ให้เกิดฝุ่นเลย โดยมีการตรวจสอบฝุ่นในระหว่างการทำงานด้วย ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดที่ไม่คาดคิด และมีการกำหนดเวลาการบำรุงรักษาให้สอดคล้องกับช่วงเวลาเปลี่ยนผลิตภัณฑ์
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการผลิตโฟโตเรซิสต์? โฟโตเรซิสต์นั้นมีความไวสูงมาก การอบแบบอ่อนจะช่วยขจัดตัวทำละลายออกไป ส่วนการอบแบบแข็งจะช่วยให้สารโฟโตเรซิสต์ติดแน่นกับพื้นผิววีเดียร์ และช่วยรักษาความสม่ำเสมอของขนาดของวีเดียร์ไว้ ด้วยโมดูลนี้ คุณจะสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ลดปริมาณตัวทำละลายที่เหลืออยู่ และลดการต้องทำงานซ้ำ ผลลัพธ์คือการควบคุมขนาดของวีเดียร์ได้อย่างดีขึ้น มีข้อบกพร่องน้อยลง และสามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะอินฟราเรดสามารถตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ทำให้สามารถลดจำนวนขั้นตอนการอบได้ โดยไม่ส่งผลต่อคุณภาพของวีเดียร์ ซึ่งช่วยลดต้นทุนต่อวีเดียร์ได้
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้องในขั้นตอนการติดตั้ง การติดตั้งนั้นขึ้นอยู่กับการปรับให้ขนาดของห้องอบเหมาะสม และตรวจสอบให้แน่ใจว่าแรงดันไฟฟ้าและขั้วต่อมีความเข้ากันได้ โดยปกติแล้วจะใช้แรงดันไฟฟ้า 240 V สำหรับกระแสไฟฟ้าที่สูง โมดูลนี้จำเป็นต้องมีระบบระบายความร้อนที่สะอาดและแห้ง และต้องมีอินเตอร์เฟซการติดตั้งที่เหมาะสมสำหรับห้องปลอดภัย การตั้งค่าระบบนั้นใช้เวลาไม่นาน แต่มีความสำคัญมาก เพราะคุณต้องปรับค่าการแผ่รังสีและความเร็วในการสแกนให้เหมาะสมกับชนิดของโฟโตเรซิสต์ 一旦设置完成，整个流程就能保持稳定。但请注意，初始设置并非简单到只需插入设备即可使用。