Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в процессе обработки полупроводниковых пластин
Если вы занимаетесь обработкой полупроводников, то наверняка знаете о проблемах, связанных с использованием горячего воздуха. Этот метод медленный: необходимо нагревать огромное количество воздуха лишь для того, чтобы передать тепло на крошечную полупроводниковую пластину. Это похоже на попытку согреть дом, сначала нагревая подъездную дорожку.
Поэтому мы перешли на использование инфракрасного излучения. Вместо того чтобы ждать, пока воздух нагреется, инфракрасное излучение направляется непосредственно на цель. Это гораздо эффективнее.
Секрет заключается в рефлекторе
Сама лампа для нагрева — это довольно неэффективный инструмент. Без рефлектора половина энергии тратится впустую. Мы используем рефлекторы с специальными высокорефлектирующими покрытиями, которые отражают фотоны обратно на пластину. Это позволяет сосредоточить тепло. Кроме того, изменяя форму рефлектора, мы можем обеспечить равномерное распределение тепла. Нет больше «холодных зон» и искажений на поверхности пластины. Процесс обработки происходит более эффективно.
Преодоление проблемы термической инерции
Главная проблема при использовании воздушных печей — это время ожидания. Необходимо долго нагревать помещение. А если нужно изменить температуру для другого процесса? Приходится ждать, пока воздух стабилизируется. Это сильно затрачивает время.
У систем с инфракрасным излучением такой проблемы нет. Достаточно просто включить устройство, и пластина достигнет нужной температуры за считаные секунды. Это значительно сокращает время обработки. Вы можете обрабатывать больше партий продукции, не нуждаясь в строительстве более крупного завода.
Недостатки (ведь ничто не идеально)
Не буду говорить, что это волшебное решение. У инфракрасного излучения тоже есть свои недостатки. Из-за высокой интенсивности излучения возникает много тепла. Хотя время обработки сокращается, все равно требуется система охлаждения, способная справиться с тепловым нагрузкой. Также необходимо поддерживать чистоту рефлектора. Если он загрязнится, на его поверхности могут остаться примеси, что снизит его рефлективность и может привести к резкому повышению температуры.
Если вы хотите отказаться от использования горячего воздуха, обратите внимание на время обработки. Если вы тратите большую часть времени на ожидание, пока все нагреется или остынет, то использование инфракрасного рефлектора — отличное решение.