In de productiefaciliteit is het gebruik van een apparaat voor het verhitten van de fotorezist geen optie – het is zelfs een vereiste. Een temperatuurverschil van maar 0,5°C over het oppervlak van de wafer kan leiden tot afwijkingen in de afmetingen en daarmee tot problemen bij de productie. Daarom hebben we onze laboratoriumoven ontworpen met rekening houdend met deze eisen.
Wat er echt toe doet Het gaat om precisie op infraroodniveau. Onze NIR-lamp zorgt voor een uniforme warmtestroom op submillimeterniveau, waardoor de temperatuur op het oppervlak van de wafer binnen ±0,1°C blijft. Het gaat hier niet om kracht, maar om nauwkeurige controle en de juiste geometrie van de reflectoren.
Het resultaat is dat de verhittingsproces steeds consistent is, keer op keer. In praktijk betekent dit dat de flow van de fotorezist voorspelbaar is, de lijndiktes constant blijven en de thermische omstandigheden stabiel zijn.
Waarom het werkt in een echte productiefaciliteit De lamp kan rechtstreeks worden gebruikt in zuivere kamers van klasse 1–100. Het is belangrijk dat er geen deeltjes worden geproduceerd. Daarom gebruiken we afgesloten kwartskamers en apparaten met minimale uitstoot van gassen, zodat het aantal deeltjes op een acceptabel niveau blijft.
Betrouwbaarheid wordt gemeten aan de hand van de tijd dat de apparaten draaien. De apparaten kunnen 5.000 uur of meer draaien met minder dan 5% daling in prestaties. Hierdoor hoef je je geen zorgen te maken over storingen in de lampen, maar kun je je concentreren op de stabiliteit van het proces. De energieverbruik neemt ook af, omdat de NIR-lamp alleen de wafer verwarmt, en niet de wanden van de kamer.
Wat je moet controleren bij installatie De installatie is eenvoudig, maar het is belangrijk dat de lamp goed past in de thermische structuur van de oven. De lamp moet op de juiste manier worden geplaatst, anders kunnen er hete plekken ontstaan.
Reken op een korte tijd nodig om de lamp op de juiste temperatuur te brengen. Plan je processen rondom een stabilisatietijd van 30 seconden. Hoewel de lamp werkt met de meeste ovens, kan het nodig zijn om enkele aanpassingen te doen aan de besturingssystemen van oudere ovens. We leveren de specificaties van de interfaces van tevoren, zodat er geen verrassingen zijn.