반도체 제조 공장에서 에너지를 낭비하지 마세요.
반도체 제조 공장을 업그레이드할 때, 사람들은 보통 더 많은 전력을 투입하는 방법을 생각합니다. 하지만 솔직히 말해서, 더 많은 전력이 항상 해결책은 아닙니다. 진짜 중요한 것은 그 에너지가 정말로 필요한 곳에 도달하도록 하는 것입니다.
일반적인 석영 램프들은 에너지가 뒤쪽과 옆쪽으로 새어 나가는 경향이 있습니다. 이로 인해 클린룸의 온도가 불필요하게 상승합니다. 우리는 금으로 코팅된 반사판을 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 듣기에는 복잡해 보이지만, 목적은 간단합니다. 즉, 적외선을 웨이퍼 위에 집중시키는 것입니다.
왜 금일까요?
물리학적으로 금은 알루미늄이나 광택 처리된 강철보다 적외선을 훨씬 잘 반사합니다. 하우징에 얇은 금 층을 입혀서 에너지가 밖으로 빠져나가는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 더 많은 에너지가 웨이퍼에 도달하고, 초점도 더 명확해집니다. 주변 장비도 불필요한 열로 인해 손상되지 않습니다. 그야말로 효율적인 방법입니다.
원하는 곳에 정확하게 열을 전달하기
웨이퍼 전체에 열이 고르게 분포되지 않는 경우가 있습니다. 이런 경우 금 코팅이 큰 도움이 됩니다. 금 코팅 덕분에 열을 원하는 위치에 집중시킬 수 있습니다. 필요에 따라 열을 중앙에 집중시키거나, 가장자리가 손상되지 않도록 평탄하게 만들 수도 있습니다. 이렇게 되면 단순한 도구가 정밀한 도구가 됩니다.
주의해야 할 점들
물론 몇 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 이러한 장치들은 매우 효율적이기 때문에 웨이퍼 위의 열 밀도가 급격히 상승합니다. 따라서 온도 조절 장치를 주의 깊게 관리해야 합니다. PID 제어 시스템이 이러한 효율성에 맞게 설정되어 있지 않다면, 설정된 온도를 초과할 수도 있습니다. 또한, 금은 환경에 따라 성능이 변할 수 있습니다. 만약 공장 내에 부식성 가스가 있다면 금 코팅이 손상될 수 있습니다. 그렇게 되면 효율성이 떨어집니다.
결론
우리는 이 장치들을 기존의 전력 공급 장치에 그대로 연결해서 사용할 수 있도록 만들었습니다. 가장 좋은 점은 웨이퍼가 목표 온도에 더 빨리 도달한다는 것입니다. 생산 시간도 줄어들고, 공장의 전력 시스템에도 부담이 가지 않습니다. 그냥 더 효율적으로 작동할 뿐입니다.