파편 발생을 막는 방법: 클래스 100 클린룸에서의 가열 처리 방법
만약 당신이 클래스 100(ISO 5)급 클린룸을 운영하고 있다면, 가스 방출로 인한 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 최고 온도에서 미세한 파편이나 VOC 가스가 웨이퍼에 닿기만 해도 생산성이 급격히 감소합니다.
일반적인 가열 코일들은 신뢰할 수 없습니다. 이러한 코일들은 시간이 지나면서 벗겨지거나 손상됩니다. 따라서 이러한 코일들은 고위험 환경에는 적합하지 않습니다.
그래서 우리는 고순도 합성 석영 인프라레드 램프를 사용합니다.
왜 석영인가?
그것은 바로 재료 때문입니다. 우리는 이온이 반도체 웨이퍼에 침투하는 것을 막을 수 있을 만큼 깨끗한 융합 실리카를 사용합니다.
시간이 지나면서 산화되어 표면이 벗겨지는 금속 커버가 있는 가열기와 달리, 석영은 변형되지 않습니다. 화학적으로 불활성이므로, 파편이나 금속 가루가 기판에 달라붙는 일도 없습니다. 게다가 단파장 인프라레드 광선이 직접 목표물에 도달하기 때문에, 전체 실내를 가열하는 데 에너지를 낭비할 필요가 없습니다.
전력에 관한 세부 사항
이 램프들은 고강도 작업에 적합하도록 설계되었습니다. 빠른 열처리를 원한다면, 가장 중요한 것은 와트당 센티미터당 출력량입니다. 전압과 와트수를 조절하여 사용자의 전원 공급 장치에 맞게 설정할 수 있습니다. 하지만 주의해야 할 점은, 고출력 석영 램프는 매우 뜨거워질 수 있다는 것입니다.
전력을 높이면, 배선과 고정 장치가 그 열을 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 과열되어 손상될 수 있습니다.
설치 및 유지 보수
우리는 표준 커넥터를 사용하기 때문에, 기존의 램프 배열에 그대로 교체할 수 있습니다. 석영 커버는 단단히 밀봉되어 있어 내부의 필라멘트가 산화되는 것을 방지합니다.
하지만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 석영은 열을 좋아하지만, 충격을 받으면 취약해집니다. 고정 장치가 너무 단단하거나 램프에 직접적인 압력이 가해지면 스트레스로 인해 균열이 생길 수 있습니다. 이는 서서히 진행되지만, 분명히 발생할 수 있습니다.
제 조언은 부드러운 지지대를 사용하는 것입니다. 이렇게 하면 램프가 안전하게 고정되면서도 열처리 과정에서 균열이 생기는 것을 방지할 수 있습니다.