ウェーハ加工ツール用温度センサー

ウェハ処理において、1ワットのエネルギーも無駄にしてはいけない。従来の方法では、一般的な温度センサーを使用するため、大量の熱が空気中に放出されてしまう。これは明らかな無駄だ。そこで私たちは、金でコーティングされた温度センサーを開発した。これにより、熱を本来あるべき場所に戻すことができる。 要点は簡...