電力を適切な場所に留めるために：半導体製造用ヒーターの配線について
半導体製造においては、わずかな電気漏れでも大きな問題となります。そのため、私たちはヒーターにテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。これにより、高い温度に耐えられます。
しかし正直言って、素材だけが全てではありません。
こちらでは「ランダムサンプリング」を行いません。工場から出荷されるすべての配線に対して、100％の耐圧試験と絶縁抵抗試験が行われます。どの部分も例外なくです。
なぜ厳しい試験を行うのか
テフロンコーティングに微細な穴があったとします。それは肉眼では見えませんが、実際には危険な存在です。半導体製造装置では、その小さな穴がブレーカーを作動させるだけでなく、ウェーハ自体を破壊してしまう可能性もあります。
そうした事態を防ぐため、私たちは高電圧による試験を行い、絶縁性能を限界まで引き上げます。私たちとしては、配線がユーザーの機械内で故障するよりも、自社のラボで故障する方がましなのです。もし絶縁抵抗がメガオームの基準値をわずかでも下回った場合、その配線はすぐに廃棄処分されます。例外はありません。
テフロンを使用する現実
テフロンが最良の素材であるのには理由があります。PVCやシリコンが溶けてガス化してしまうような高温でも、テフロンは依然として強度を保ちます。また、体積も非常に小さいため、狭いヒーターマニホールド内に配線を配置する際に役立ちます。
ただ一点注意点があります。PTFEはシリコンよりも硬いため、無理に曲げると破損しやすくなります。配線を接続する際には、十分な余裕を持たせてください。そうすれば、接続部に過度なストレスがかからずに済みます。
お客様の装置で安心して使用できるように
これらの配線がヒーターに接続されると、誘電強度が重要な役割を果たします。それにより、電流が必要な場所、つまりヒーターコイル内に留まり、チassis内に漏れ出るのを防ぎます。
私たちは、工業用電源で発生する電圧の急上昇にも対応できるように、これらの配線を設計しています。すべてのコンダクターが確認済みなので、安心してご利用いただけます。推測や「たぶん大丈夫」ということはありません。確かなデータに基づいています。