
Mengapa kita beralih ke teknologi inframerah untuk semikonduktor bebas timbal
Dunia semikonduktor sedang bergerak menuju penggunaan metode pengeringan yang “bebas timbal” dan “nol emisi”. Sejujurnya, sudah saatnya hal ini dilakukan. Selama bertahun-tahun, kita bergantung pada oven konveksi yang berukuran besar. Oven tersebut hanya memanaskan udara di dalamnya, sehingga merupakan pemborosan energi. Yang lebih buruk lagi, oven tersebut berisiko menyebarkan partikel-partikel kecil ke permukaan wafer.
Itulah sebabnya kita menggunakan teknologi inframerah untuk proses pengeringan. Alih-alih memanaskan udara, teknologi inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tidak ada perantara, dan tidak ada udara panas yang berputar-putar. Hanya energi yang disalurkan secara langsung.
Keajaiban energi inframerah
Inilah cara kerjanya: kita menyesuaikan panjang gelombang radiasi inframerah sesuai dengan jenis lapisan atau bahan yang digunakan. Dalam sistem semikonduktor bebas timbal, kita menggunakan gelombang inframerah berpanjang gelombang pendek dan menengah. Hal ini membuat proses polimerisasi dan penguapan pelarut berlangsung lebih cepat—sangat cepat sekali.
Bayangkan saja: oven konveksi membutuhkan waktu beberapa menit untuk mencapai suhu yang diinginkan. Sedangkan sistem inframerah dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam hitungan detik saja. Hal ini mengubah ritme produksi secara keseluruhan.
Menjaga kebersihan dan suhu yang stabil
Karena proses ini harus dilakukan di ruang bersih, kita menggunakan bahan stainless steel berkualitas tinggi untuk membuat komponen pemanasnya. Kita juga menghindari penggunaan bahan berlapis logam, karena bahan tersebut cenderung mengelupas atau mengeluarkan gas, yang tentu saja merusak kualitas wafer. Selain itu, stainless steel mampu memantulkan radiasi inframerah kembali ke permukaan wafer, sehingga panas tidak hilang ke bagian lain dari mesin.
Namun, ada satu masalah. Arrangement inframerah berkepadatan tinggi akan menjadi sangat panas. Jika aliran udara tidak dikontrol dengan baik, komponen pemanas bisa rusak, atau seluruh sistem bisa berhenti bekerja untuk melindungi diri. Untuk mencegah hal ini, kita biasanya menggunakan sistem pendinginan udara di bagian belakang komponen pemanas. Dengan begitu, suhu tetap stabil, dan perangkat keras tetap berfungsi dengan baik.
Lebih baik untuk planet, lebih baik untuk biaya produksi
Ketika kita ingin menghilangkan timbal dan VOC, kita harus berhati-hati. Jika proses pengeringan berlebihan, maka produk yang dihasilkan akan rusak. Kelebihan teknologi inframerah adalah kemampuannya untuk melakukan pemanasan secara terkontrol di area tertentu saja. Dengan demikian, konsumsi energi per wafer dapat dikurangi secara signifikan.
Ini merupakan cara yang lebih efektif untuk memenuhi standar ISO 14001. Kita tidak perlu lagi berjuang melawan hambatan dari oven berukuran besar, dan kita dapat mengontrol energi tepat di tempat yang diperlukan.