
Mengapa kita beralih dari penggunaan udara panas ke reflektor inframerah dalam proses pengeringan wafer
Jika Anda pernah terlibat dalam proses manufaktur semikonduktor, pasti Anda tahu betapa lambatnya proses menggunakan udara panas. Pada dasarnya, kita harus memanaskan seluruh ruangan yang berisi udara hanya untuk menghasilkan sedikit panas yang cukup untuk memanaskan wafer kecil tersebut. Ini sama saja dengan mencoba memanaskan sebuah rumah dengan cara memanaskan jalan masuknya terlebih dahulu.
Itulah mengapa kita beralih ke metode pemanasan inframerah. Alih-alih menunggu udara panas, metode ini menggunakan radiasi untuk langsung memanaskan wafer. Cara ini lebih efektif.
Rahasianya ada pada reflektor
Faktanya, lampu pengeringan saja tidaklah efisien. Tanpa reflektor, separuh energi yang dihasilkan akan terbuang sia-sia. Kita menggunakan reflektor yang dilapisi lapisan khusus yang memiliki kemampuan reflektansi tinggi, sehingga foton-foton tersebut dapat dipantulkan kembali ke wafer. Dengan demikian, panas dapat difokuskan secara efektif. Selain itu, dengan mengatur bentuk reflektor, kita dapat memastikan agar panas tersebar secara merata. Tidak ada lagi “titik dingin”, dan wafer pun tidak akan rusak. Proses pengeringan pun menjadi lebih efisien.
Menghilangkan masalah inersia termal
Masalah utama dengan oven berbasis udara panas adalah waktu tunggu yang lama. Butuh waktu yang lama untuk membuat suhu di dalam oven mencapai tingkat yang diinginkan. Jika perlu mengubah suhu untuk proses lain, kita harus menunggu hingga udara stabil kembali. Ini sangat membuang-buang waktu.
Sistem inframerah tidak memiliki masalah seperti itu. Dengan sekali tekan tombol, suhu wafer sudah mencapai tingkat yang diinginkan dalam hitungan detik saja. Hal ini tentu akan menghemat waktu Anda. Anda dapat menyelesaikan lebih banyak proses tanpa perlu membangun pabrik yang lebih besar.
Kekurangan sistem inframerah
Tentu saja, tidak ada yang sempurna. Sistem inframerah juga memiliki kelemahan-kelemahannya sendiri. Karena intensitas cahaya yang dihasilkan sangat tinggi, maka panas yang dihasilkan juga sangat besar. Meskipun proses pengeringan menjadi lebih cepat, Anda tetap membutuhkan sistem pendinginan yang mampu menangani beban panas yang dihasilkan oleh lampu tersebut.
Selain itu, Anda juga perlu menjaga kebersihan reflektor. Jika reflektor kotor, kotoran akan menempel di permukaannya. Hal ini akan mengurangi kemampuan reflektor untuk memantulkan cahaya, sehingga panas yang dihasilkan menjadi tidak merata.
Jika Anda berpikir untuk beralih dari metode konveksi ke metode inframerah, pertimbangkan dulu waktu yang dibutuhkan untuk proses pengeringan. Jika sebagian besar waktu Anda dihabiskan untuk menunggu suhu mencapai titik yang diinginkan, maka penggunaan reflektor inframerah merupakan pilihan yang tepat.