एक ही खराब हुए लैंप से पूरी उत्पादन प्रक्रिया बर्बाद न हो – इसका ध्यान रखें!
यदि आप उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर उत्पादन का काम कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। यदि एक ही IR लैंप खराब हो जाए, तो न केवल हीटर ही खराब हो जाता है, बल्कि उत्पादन क्षेत्र में काँच के टुकड़े एवं टंगस्टन फिलामेंट भी बिखर जाते हैं।
ऐसी स्थिति में पूरी वेफर बैच बर्बाद हो सकती है। यह बहुत ही खराब स्थिति है… और इसकी लागत भी बहुत अधिक होती है।
यही कारण है कि हमने सिरेमिक एंड कैप्स का उपयोग किया।
गंदगी को अंदर ही रखना
अधिकांश सामान्य IR लैंपों में साधारण सीलिंग व्यवस्था होती है। ये कुछ समय तक ठीक रहती हैं, लेकिन अत्यधिक ऊष्मा के कारण ये धीरे-धीरे खराब हो जाती हैं। हमने इन साधारण सीलिंगों की जगह उच्च गुणवत्ता वाले सिरेमिक एंड कैप्स का उपयोग किया। इन्हें एक “भौतिक ढाल” के रूप में ही समझें। यदि क्वार्ट्ज आवरण खराब हो जाए, तो सिरेमिक आवरण उन टुकड़ों को रोक देता है… इससे वेफर की सतह पर कोई कण नहीं फैलता।
एल्यूमिना क्यों?
हमने एल्यूमिना सिरेमिक का ही उपयोग किया… क्योंकि यह क्वार्ट्ज के साथ अच्छी तरह से मिलता है। इसका ऊष्मा-विस्तार भी क्वार्ट्ज के समान ही है। जब तापमान तेजी से बढ़ता है, तो सीलिंग बिंदु पर कोई तनाव नहीं पैदा होता… इससे विद्युत संपर्क भी मजबूत रहता है। इसके अलावा, ये कैप्स निष्क्रिय होते हैं… इसलिए उच्च-वैक्यूम या नियंत्रित वातावरण में भी ये कार्य करते हैं।
नुकसान एवं लाभ
ध्यान रखें… कुछ भी परफेक्ट नहीं होता। ये कैप्स लैंप के अंतिम हिस्सों में थोड़ा वजन जोड़ देते हैं… इन्हें लगाने से पहले अपने फिक्सचर के क्लैम्पिंग दबाव की जाँच जरूर करें… अत्यधिक दबाव डालने से सिरेमिक टूट सकता है।
आप थोड़ी लचीलापन की कीमत पर बहुत ही सुरक्षा प्राप्त कर रहे हैं… यदि आप 24/7 काम कर रहे हैं, तो यही एकमात्र तरीका है… ताकि कोई खराब हुआ लैंप पूरी सुविधा को बर्बाद न करे। बस अपने टॉलरेंस की जाँच करें, उन्हें अपने कंट्रोलरों से जोड़ दें… और आप तैयार हैं!