लिथोग्राफी प्रक्रिया में, कम तापमान के कारण होने वाले प्रभाव स्पष्ट रूप से दिखाई नहीं देते। ऐसे प्रभाव तो केवल फिल्म की मोटाई में होने वाले परिवर्तनों, रेसिस्ट में अवशिष्ट घुलनशील पदार्थों, एवं कुछ घंटों बाद ही दिखाई देने वाले अवशेषों के रूप में ही दिखाई देते हैं। आवश्यकता तो ऐसे लैंपों की है, जो फोटोरेसिस्ट के लिए आवश्यक तापमान को बनाए रख सकें… चाहे वह कितने भी चक्र हों।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हम नियर-इन्फ्रारेड (NIR) उत्सर्जकों का उपयोग करते हैं; इनका स्पेक्ट्रल आउटपुट ऐसा होता है कि यह रेसिस्ट को तेज़ एवं समान रूप से गर्म कर सके। इससे फिल्म की सतह एवं नीचे के हिस्सों में तापमान में अंतर नहीं होता। बेकिंग जोन में तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर। इससे फिल्म की चिपचिपाहट एवं कोटिंग की गुणवत्ता स्थिर रहती है। यह सिस्टम लगातार काम करता रहता है… बिना किसी रुकावट के। यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है। 5,000+ घंटों तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है… तापमान में 5% से भी कम परिवर्तन होता है… एवं हर बैच में तापमान संरचना समान रहती है।
उत्पादन में इसका महत्व:
कम पुनर्कार्य एवं कम संदूषण… तापमान नियंत्रण से रेसिस्ट में घुलनशील पदार्थों का संचय कम हो जाता है… इससे CD गुणवत्ता बेहतर रहती है… एवं कम कटिंग की आवश्यकता होती है। ऊर्जा खपत भी कम हो जाती है… क्योंकि NIR उत्सर्जक रेसिस्ट को सीधे ही गर्म करता है… चैंबर की दीवारों को नहीं।
विश्वसनीयता:
यह सिस्टम 24/7 काम करने के लिए डिज़ाइन किया गया है… तापमान नियंत्रण प्रक्रिया के अनुसार ही होता है… बिना किसी रुकावट के।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
NIR उत्सर्जन की तीव्रता दूरी के साथ कम हो जाती है… इसलिए लैंप एवं वेफर के बीच की दूरी को इंस्टॉलेशन के समय ही निर्धारित करना आवश्यक है। सेटपॉइंट तक पहुँचने में थोड़ा समय लगेगा… इसलिए उत्सर्जक की जीवन-अवधि के अनुसार ही रखरखाव की योजना बनानी आवश्यक है। सुनिश्चित करें कि यह उपकरण आपके कोटर/ट्रैक इंटरफेस के साथ संगत है… एवं बेकिंग प्रक्रिया को लैंप की प्रतिक्रिया-समय के अनुसार ही चलाएं… ताकि प्रक्रिया संयमित रहे।