क्लास 100 क्लीनरूमों में हीटिंग समस्याओं से निपटने का तरीका
यदि आप क्लास 100 (ISO 5) क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पहले ही “आउटगैसिंग” समस्या के बारे में पता होगा। थोड़ा सा भी कचरा या VOCs, उच्च तापमान पर वेफरों पर पड़ने से उत्पादन में कमी आ जाती है।
सामान्य हीटिंग कॉइलें ऐसी ही समस्याएँ पैदा करती हैं… वे टूट जाती हैं, या उनकी सतह खराब हो जाती है। ऐसी कॉइलें उच्च-जोखिम वाले वातावरण में उपयोग के लिए उपयुक्त नहीं हैं।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
क्यों क्वार्ट्ज?
यह सामग्री के कारण ही है… हम ऐसा फ्यूज्ड सिलिका ही उपयोग में लाते हैं, जो इतना शुद्ध है कि आयनों का अपने सेमीकंडक्टर वेफरों में प्रवेश नहीं हो पाता।
धातु-आवरण वाले हीटरों के विपरीत, क्वार्ट्ज रासायनिक रूप से अपरिवर्तनीय है… इसकी सतह नहीं खराब होती, और इससे कोई धातु-धूल भी वेफरों पर नहीं गिरती। इसके अलावा, शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड विकिरण सीधे ही लक्ष्य तक पहुँचता है… ऐसे में पूरे चैंबर को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
पावर संबंधी जानकारी
ये लैंप उच्च ऊर्जा-खपत के लिए ही बनाए गए हैं… जब आप तेज़ तापीय प्रसंस्करण की योजना बना रहे हैं, तो सबसे महत्वपूर्ण बात है “वॉट/सेंटीमीटर”। हम वोल्टेज एवं वॉटेज को आपके विशिष्ट पावर सप्लाई के अनुकूल बदल सकते हैं… लेकिन ध्यान रखें कि उच्च-वॉटेज वाले क्वार्ट्ज लैंप बहुत गर्म हो जाते हैं।
यदि आप अधिक ऊर्जा का उपयोग करते हैं, तो आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी वायरिंग एवं माउंटिंग सिस्टम उस ऊष्मा को सह सकें… वरना लैंप जल जाएँगे।
लैंपों की स्थापना एवं रखरखाव
हम मानक कनेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… ऐसे में आप इन लैंपों को बिना किसी परेशानी के अपने मौजूदा सिस्टम में लगा सकते हैं। क्वार्ट्ज का आवरण बहुत ही घट्ट होता है… ऐसे में इसके अंदर का फिलामेंट ऑक्सीकृत नहीं होता।
लेकिन एक समस्या यह भी है… क्वार्ट्ज गर्मी को तो पसंद करता है, लेकिन झटकों को नहीं… यदि आपकी क्लैंपिंग सिस्टम बहुत ही कठोर है, तो लैंप में दरारें पड़ सकती हैं… यह धीरे-धीरे ही होता है, लेकिन होता ही है।
मेरी सलाह है… नरम-स्पर्श वाले सपोर्ट ही उपयोग में लाएं… ऐसे में लैंप सुरक्षित रहेंगे, एवं तापीय प्रक्रियाओं के दौरान भी उनमें कोई दरार नहीं पड़ेगी।