במפעלי ייצור שבבים, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו אופציונלי – זו דרישה הכרחית. שינוי של רק 0.5°C בטמפרטורה ברחבי הוויפר עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של השבב, מה שיפגע באיכות הייצור. לכן, עיצבנו את תנורי המעבדה שלנו בהתאם לדרישות אלו.
מה באמת חשוב? העיקר הוא הדיוק בטווח האינפרא-אדום. תנורי ה-NIR שלנו יוצרים שדה תרמי אחיד ברמת מילימטרים ספורים, מה שמביא לאחידות בטמפרטורה של הוויפר ברמה של ±0.1°C. זה לא קשור לכוח החימום, אלא לשליטה הספקטרלית ולגאומטריה של המחזירים האור.
התוצאה היא תהליכי חימום אחידים, שניתן לחזות אותם מדף לדף. בפועל, זה אומר זרימה אחידה של הפוטורזיסט, רוחבי ליין יציבים, ותנאים תרמיים יציבים.
למה זה עובד במפעלים אמיתיים? התנורים שלנו יכולים להיות מותקנים בחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100. אין שום אפשרות לייצור חלקיקים, ולכן העיצוב של התנורים כולל מעטפות קוורץ סגורות ורכיבים שמפחיתים את פליטת הגזים, כך שמספר החלקיקים נשאר ברמה נמוכה.
האמינות של התנורים נמדדת בזמן הפעולה. התנורים יכולים לפעול 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים. כך אין צורך להתמודד עם תקלות בתנורים, וניתן להתמקד ביציבות התהליך. גם צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שה-NIR מחמם את הוויפר ולא את קירות התנור.
מה צריך לשים לב אליו במהלך ההתקנה? ההתקנה פשוטה, אך חשוב שהתנור יהיה מחובר כראוי למערכת החימום של התנור – אחרת עלולים להיווצר אזורים חמים. יש לצפות לזמן התאמה קצר לטמפרטורה הרצויה; יש לתכנן את התהליך כך שיהיה זמן של 30 שניות לייצוב התנור. ובעוד שהתנורים שלנו יכולים לעבוד עם רוב סוגי התנורים, ייתכן שיהיה צורך בשינויים קלים בממשק הבקרה של תנורים ישנים. אנו מספקים את המפרטים של הממשק מראש, כך שלא יהיו הפתעות.