Pourquoi nous utilisons des chauffages à rayonnement infrarouge dans les cabines de travail pour semi-conducteurs
Le secteur des semi-conducteurs s’éloigne progressivement de l’utilisation du plomb et des produits chimiques nocifs. Cela signifie que nous devons repenser la manière dont nous séchons les composants. Nous avons donc commencé à utiliser des éléments de chauffage à rayonnement infrarouge dans nos cabines de travail pour rester à la page.
Pensez à un four traditionnel à convection : il doit chauffer chaque centimètre cube d’air pour accomplir sa fonction. C’est lent et gourmand en énergie. Le rayonnement infrarouge est différent : il envoie de l’énergie directement vers le substrat, sans passer par aucun intermédiaire. Aucun besoin de chauffer toute la pièce – juste une chaleur ciblée et efficace. Cela nous permet d’éviter l’utilisation de solvants dangereux et de réduire la consommation d’énergie pendant le processus de durcissement.
Comment ça marche vraiment ?
Nous utilisons ici du rayonnement à ondes courtes ou moyennes. Dans une cabine de travail où il est crucial de contrôler les niveaux d’oxygène et d’humidité, nous avons besoin d’une chaleur précise.
Le meilleur côté, c’est que ce rayonnement pénètre effectivement dans la surface du composant. Il permet ainsi de faire durcir le composant de l’intérieur vers l’extérieur. Si l’on se contente de chauffer la surface, cela provoque des problèmes : la partie supérieure sèche instantanément, tandis que les solvants restent coincés en dessous. Le rayonnement infrarouge empêche cela.
L’aspect technique
Lorsque nous connectons ces éléments à un système électrique, tout dépend de la densité de puissance fournie. Nous utilisons des tubes en quartz ou en halogène, car ils atteignent rapidement la température souhaitée. En quelques secondes, pas en minutes.
Pour maintenir une atmosphère stérile, nous utilisons des connecteurs spécialisés. Si des fuites surviennent dans la cabine de travail, c’est grave. Ces joints doivent donc être étanches.
Mais il y a un problème : ces éléments génèrent beaucoup de chaleur locale intense. Si votre système de refroidissement ne suffit pas, vous risquez de rencontrer des problèmes. Il faut donc s’assurer que la chaleur puisse être évacuée aussi rapidement que possible.
Maintenir la propreté
Les normes sans plomb posent des difficultés, car elles exigent des températures bien plus élevées que celles nécessaires avec les soldats classiques. Le rayonnement infrarouge permet d’atteindre ces températures facilement, sans émissions de carbone dues aux fours à gaz. C’est donc une solution propre et efficace.
De plus, comme il n’y a pas d’air en mouvement, il n’y a aucun risque que des particules se déplacent et se retrouvent sur les wafer. C’est donc une méthode bien plus simple et propre pour effectuer des traitements thermiques.