در کارخانههای تولید نیمههادی، فرآیند پختن رزیست فوتوگرافیک یک الزام است؛ این کار بخشی از استانداردهای تولید محسوب میشود. حتی تغییر دما در محدوده ۰.۵ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات و کاهش بازدهی تولید شود. ما لامپهای مورد استفاده در آزمایشگاههای نیمههادی خود را با توجه به این واقعیت طراحی کردهایم.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
موضوع در واقع مربوط به دقت فرکانس مادونقرمز است. لامپهای NIR ما، میدان حرارتی یکنواختی در مقیاس زیر میلیمتری ایجاد میکنند؛ این امر منجر به یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشود. این امر نتیجه کنترل دقیق فرکانس مادونقرمز و طراحی صحیح ساختار لامپ است.
مزایای استفاده از این لامپها
استفاده از این لامپها باعث ایجاد الگوهای پختن یکنواخت در هر بار استفاده میشود. در عمل، این امر به معنای جریان یکنواخت رزیست فوتوگرافیک، عرض خطوط قابل پیشبینی، و تعادل حرارتی پایدار است.
چرا این لامپها در کارخانههای واقعی کارایی دارند
این لامپها میتوانند مستقیماً در فرهای اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ استفاده شوند. عدم تولید هیچ ذرهای از اهمیت بالایی برخوردار است؛ بنابراین از ظروف کوارتزی بسته و تجهیزاتی با میزان گازخروجی کم برای حفظ سطح پایین ذرات استفاده شده است.
نکاتی که باید هنگام نصب در نظر گرفت
نصب این لامپها ساده است، اما اتصال حرارتی آنها با فر اهمیت دارد. لامپ باید با فاصله و تنظیم مناسبی به فر متصل شود؛ در غیر این صورت، نقاط گرم خاصی ایجاد خواهد شد.
انتظار داشته باشید که لامپ برای رسیدن به دمای مورد نظر، مدت کوتاهی زمان ببرد؛ بنابراین برنامهریزی خود را بر اساس ۳۰ ثانیه زمان لازم برای تثبیت دما انجام دهید. همچنین، اگرچه این لامپها میتوانند با اکثر فرها کار کنند، اما برای استفاده در فرهای قدیمی، ممکن است نیاز به تغییرات جزئی در سیستم کنترل باشد. ما مشخصات سیستم کنترل را از قبل ارائه میدهیم تا هیچ مشکلی پیش نیاید.