Deje de desperdiciar calor en sus cámaras de tratamiento de obleas
El problema con la mayoría de las lámparas infrarrojas es que emiten calor en todas las direcciones. Cuando se calienta una oblea semiconductor, lo que se quiere es que esa energía llegue al sustrato. Definitivamente no se quiere que el calor se disperse dentro de las paredes internas de la máquina, lo cual cuesta una fortuna.
Cuando el equipo funciona como un enorme disipador de calor, las cosas se complican. Se desperdicia energía, y el chasis de la máquina comienza a expandirse debido al calor. Es un problema innecesario.
Cómo funciona realmente la calefacción dirigida
Para solucionar esto, dejamos de usar los tubos de cuarzo tradicionales. En su lugar, utilizamos tecnología infrarroja dirigida. Pensemos en ello como si añadiéramos un reflector o un recubrimiento especial en la parte posterior de la lámpara.
En lugar de un calor distribuido en 360 grados, el calor se dirige hacia adelante. Esto permite concentrar el calor en un punto específico. De esta manera, solo el área donde está la oblea se calienta, mientras que la parte posterior de la lámpara permanece fría. Las paredes de la cámara ya no se dañan. Así de simple.
Proteger a su equipo (y a sus herramientas)
Mantener el interior de la cámara fresco no solo significa ahorrar algo de dinero en la factura eléctrica, sino también proteger a las personas que trabajan con las máquinas.
Cuando las paredes internas no se calientan demasiado, los técnicos no corren el riesgo de sufrir quemaduras durante los procesos de mantenimiento. Esto hace que todo sea más seguro.
Pero hay un detalle importante: es necesario asegurarse de que los suministros de energía sean adecuados. Estos emisores de alta densidad consumen mucha electricidad. Si intenta calentar rápidamente una oblea de 300 mm, asegúrese de que los sistemas de refrigeración puedan manejar ese volumen de calor. Las paredes pueden permanecer frías, pero el área objetivo sí se calentará mucho.
El sacrificio que hay que hacer
Sin embargo, existe un compromiso. Debido a que el calor está muy concentrado, se pierde ese brillo “suave” que tienen las lámparas convencionales. Esto significa que el ajuste del PID debe ser preciso. Si la oblea se desvía哪怕 unos pocos milímetros, habrá fluctuaciones de temperatura en su superficie.
Se trata de sacrificar ese calor uniforme por precisión. Para la mayoría, este es un sacrificio que vale la pena hacer.