Wie man das Problem der Aufbruchstellen vermeidet: Wie man die Heizung in Reinräumen der Klasse 100 richtig einsetzt
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 (ISO 5) betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Gasentwicklung. Schon ein kleiner Schmutzfleck oder eine Spur an VOCs kann dazu führen, dass die Leistung Ihrer Halbleiterchips stark abnimmt.
Herkömmliche Heizelemente sind nicht geeignet für solche Umgebungen – sie brechen oder blättern ab. Deshalb verwenden wir hochreine synthetische Quarz-Infrarotlampen.
Warum Quarz?
Es geht um das Material selbst. Wir verwenden geschmolzenes Silizium, das so rein ist, dass Ionen nicht in die Halbleiterchips eindringen können. Im Gegensatz zu Metallheizelementen, die mit der Zeit oxidiert und abblättern, bleibt Quarz stabil. Er ist chemisch inaktiv – es gibt keinen Abblätterungsprozess, keine Metallstaubpartikel auf den Substraten, keine unerwarteten Probleme. Zudem trifft das kurzwellige Infrarotlicht direkt auf das Zielobjekt. So wird Energie gespart, da nicht der ganze Raum erhitzt werden muss.
Die technischen Aspekte
Diese Lampen sind zum Einsatz in anspruchsvollen Umgebungen konzipiert. Wenn man schnelles thermisches Verarbeiten anstrebt, ist allein die Leistung pro Quadratzentimeter wichtig. Wir können die Spannung und Leistung an Ihre spezielle Stromversorgung anpassen. Allerdings: Hochleistungsquarzlampen werden sehr heiß – wirklich sehr heiß. Wenn Sie die Leistung erhöhen, müssen Sie sicherstellen, dass Ihre Verkabelung und Befestigungselemente dem Druck standhalten können. Andernfalls kann es zu frühzeitiger Zerstörung der Lampen kommen.
Installation und Wartung
Wir verwenden Standardanschlüsse, sodass die Lampen einfach in Ihre bestehenden Anlagen eingebaut werden können. Die Quarzkapsel ist fest verschlossen, damit das Innere der Lampe nicht oxidiert. Doch es gibt einen Haken: Quarz mag zwar Wärme, hasst aber Erschütterungen. Er ist empfindlich gegenüber mechanischen Belastungen. Wenn das Befestigungssystem zu straff ist oder direkten Druck auf die Lampe ausübt, können Risse entstehen. Es handelt sich dabei um einen langsam voranschreitenden Prozess, aber er kann trotzdem auftreten.
Mein Rat: Verwenden Sie weiche Befestigungsstoffe. Dadurch bleiben die Lampen sicher befestigt und können während der thermischen Belastungen atmen – ohne dass es zu Rissen kommt.