In der Fertigungshalle ist die thermische Varianz kein abstraktes Wert, den man in einer Tabellenkalkulation verfolgt. Es geht vielmehr darum, ob eine CIGS-Zelle eine Effizienz von 24,5 % erreicht – oder ob sie als Schrott behandelt wird. Wenn die thermischen Schwankungen in den Prozess einfließen, verschieben sich die Grenzen der jeweiligen Bereiche. Wenn der Überzugstoff ungleichmäßig aushärtet, hängt die Zuverlässigkeit vom Zufall ab. Wir haben diese Heizer entwickelt, um diese Unsicherheiten zu beseitigen.
Was wirklich wichtig ist:
Es wird eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1 °C innerhalb des aktiven Bereichs erreicht. Die Genauigkeit der Einstellungen liegt bei ±0,2 °C. Kurzwellige Infrarot-Elemente liefern schnell und effektiv Wärme – während eine durch Quarz isolierte Heizzone dazu beiträgt, dass die Anzahl der Partikel konstant bleibt. Der Heizer eignet sich für Reinräume der Klasse 1–100 und kann 24/7 betrieben werden. Auf Pilotanlagen mit mehr als 10.000 Betriebsstunden gab es keine Ausfälle. Die Temperaturprofilen sind so gestaltet, dass sie dem thermischen Bedarf des CIGS-Absorbers entsprechen – somit können die geforderten Bedingungen für das Aushärten des Photoresists sowie des Überzugstoffs eingehalten werden.
Der Vorteil dieses Heizers ist, dass er alle relevanten Prozesse übernimmt: Trocknen der Wafer, Aushärten des Photoresists, Aushärten des Überzugstoffs sowie Nachtrocknung nach der Reinigung. Die hohe Homogenität sorgt dafür, dass die kritischen Abmessungen der Lithografie stabil bleiben – dadurch sinkt auch die Anzahl der Defekte. Schnelles und wiederholbares Aushärten verkürzt die Bearbeitungszeit. Durch effizientes Infrarot-Design und gute Wärmedämmung wird der Energieverbrauch gesenkt – dadurch sinken die Kosten pro Wafer, ohne dass man auf Präzision verzichten muss.
Ein paar praktische Hinweise:
Der Heizer benötigt eine eigene 240-V-Steckdose sowie saubere, trockene Luft, um die Heizzone zu isolieren. Er passt problemlos in Standardträger ein – doch sein Platzbedarf ist gering. Planen Sie daher im Voraus die Verlegung der Kabel. Nach der Installation kann der Heizer ohne spezielle Werkzeuge kalibriert werden – dadurch dauern die Umstellungsvorgänge weniger als 15 Minuten.