Na litografické desce nepředstavuje odchylka o půl stupně při procesu zahřívání „toleranci“. Jedná se o znehodnocený polovodičový čip. Sušení fotorezisty závisí na termální kontrole – infračervený modul je tedy klíčovým prvkem pro dosažení požadovaných výsledků, nebo naopak jejich ztrátu.
Co je opravdu důležité v tomto procesu Používáme infračervený modul na sušení fotorezisty, který udržuje termální rovnoměrnost na úrovni ±0,1 °C mezi jednotlivými čipy. Díky tomu jsou profilové údaje stabilní v každé várce. Volba emitoru je promyšlená – používáme blízké infračervené záření, protože umožňuje rychlou reakci s přesnou kontrolou spektra. To eliminuje problémy spojené s termálními odchylkami. Systém je určen pro čisté prostory třídy 1–100 a je navržen tak, aby nevytvářel žádné částice – to je ověřeno pomocí monitorování částic na místě. Má být provozován 24/7 bez neplánovaných přestávek. Časový rámec servisu odpovídá změnám v výrobě.
Proč je to důležité při zpracování fotorezistu Fotorezistent není tolerantní k chybám. Proces měkkého zahřívání umožňuje odstranění rozpouštědel. Proces tvrdého zahřívání zajišťuje stabilitu adheze a rozměrů čipu. Díky tomuto modulu můžete stabilizovat termální podmínky, snížit zbytky rozpouštědel a omezit potřebu dokončovacích prací. Výsledkem je lepší kontrola rozměrů čipu, méně vad a možnost plánování cyklů výroby. Energie spotřebovaná také klesá – infračervené záření reaguje rychle, takže lze zkrátit dobu zahřívání, aniž by došlo ke změnám v parametrech procesu, což snižuje náklady na jeden čip.
Co je potřeba správně nastavit při instalaci Integrace spočívá v přizpůsobení velikosti komory pece a v ověření kompatibility napětí a konektorů – typické napětí je 240 V. Modul vyžaduje čisté a suché chlazení a montážní rozhraní vhodné pro čisté prostory. Nastavení systému trvá krátce, ale je důležité – je potřeba upravit emisivitu a rychlost skenování podle typu fotorezistu. Jakmile je systém nastaven správně, proces zůstává stabilní. Ale nezapomeňte – počáteční nastavení není jednoduché.